Підкладки з нітриду галію|пластини GaN

Короткий опис:

Нітрид галію (GaN), як і матеріали карбіду кремнію (SiC), належить до третього покоління напівпровідникових матеріалів із широкою шириною забороненої зони, з великою шириною забороненої зони, високою теплопровідністю, високою швидкістю міграції насичення електронами та високим видатним електричним полем пробою характеристики.GaN-пристрої мають широкий спектр перспектив застосування у сферах високої частоти, високої швидкості та високої потужності, таких як світлодіодне енергозберігаюче освітлення, лазерний проекційний дисплей, транспортні засоби з новою енергією, розумна мережа, зв’язок 5G.


Деталі продукту

Теги товарів

GaN пластини

Напівпровідникові матеріали третього покоління в основному включають SiC, GaN, алмаз тощо, оскільки їх ширина забороненої зони (Eg) більша або дорівнює 2,3 електрон-вольта (еВ), також відомі як широкозонні напівпровідникові матеріали.У порівнянні з напівпровідниковими матеріалами першого та другого поколінь, напівпровідникові матеріали третього покоління мають переваги високої теплопровідності, сильного електричного поля пробою, високої швидкості міграції насичених електронів і високої енергії зв’язку, що може відповідати новим вимогам сучасних електронних технологій для високих температура, висока потужність, високий тиск, висока частота та радіаційна стійкість та інші суворі умови.Він має важливі перспективи застосування в сферах національної оборони, авіації, аерокосмічної галузі, розвідки нафти, оптичного зберігання даних тощо, і може зменшити втрати енергії більш ніж на 50% у багатьох стратегічних галузях, таких як широкосмуговий зв’язок, сонячна енергія, виробництво автомобілів, напівпровідникове освітлення та інтелектуальна мережа, а також може зменшити об’єм обладнання більш ніж на 75%, що є важливою віхою для розвитку людської науки та технологій.

 

Пункт 项目

GaN-FS-CU-C50

GaN-FS-CN-C50

GaN-FS-C-SI-C50

Діаметр
晶圆直径

50,8 ± 1 мм

Товщина厚度

350 ± 25 мкм

Орієнтація
晶向

Площина С (0001) відхилена від кута до осі М 0,35 ± 0,15°

Prime Flat
主定位边

(1-100) 0 ± 0,5°, 16 ± 1 мм

Вторинна квартира
次定位边

(11-20) 0 ± 3°, 8 ± 1 мм

провідність
导电性

N-тип

N-тип

Напівізоляційний

Питомий опір (300K)
电阻率

< 0,1 Ом·см

< 0,05 Ом·см

> 106 Ом·см

TTV
平整度

≤ 15 мкм

ЛУК
弯曲度

≤ 20 мкм

Шорсткість лицьової поверхні Ga
Ga面粗糙度

< 0,2 нм (полірований);

або < 0,3 нм (полірована та оброблена поверхня для епітаксії)

N Шорсткість лицьової поверхні
N面粗糙度

0,5 ~1,5 мкм

варіант: 1~3 нм (дрібний шліф);< 0,2 нм (полірований)

Щільність дислокації
位错密度

Від 1 x 105 до 3 x 106 см-2 (розраховано за CL)*

Щільність макродефектів
缺陷密度

< 2 см-2

Корисна площа
有效面积

> 90% (виключення країв і макродефектів)

Може бути налаштований відповідно до вимог замовника, інша структура епітаксійного листа GaN на основі кремнію, сапфіру, SiC.

Місце роботи Semicera Робоче місце Semicera 2 Обладнання машина Обробка CNN, хімічне очищення, покриття CVD Наш сервіс


  • Попередній:
  • далі: