Semicera Semicera надає спеціальні покриття з карбіду танталу (TaC) для різних компонентів і носіїв.Провідний процес нанесення покриттів Semicera Semicera дозволяє досягти високої чистоти, стабільності при високій температурі та високої хімічної стійкості до покриттів з карбіду танталу (TaC), покращуючи якість кристалів SIC/GAN і шарів EPI (Сусцептор TaC з графітовим покриттям), а також подовження терміну служби ключових компонентів реактора.Використання покриття з карбіду танталу TaC покликане вирішити проблему краю та покращити якість росту кристалів, а Semicera Semicera зробила прорив у розв’язанні технології покриття з карбіду танталу (CVD), досягнувши передового міжнародного рівня.
Після багатьох років розвитку Semicera підкорила технологіюССЗ TaCспільними зусиллями науково-дослідного відділу.Дефекти легко виникнути в процесі росту пластин SiC, але після використанняTaCрізниця суттєва.Нижче наведено порівняння пластин із та без TaC, а також частин Simicera для вирощування монокристалів
з та без TaC
Після використання TaC (праворуч)
Крім того, термін служби продуктів Semicera з покриттям TaC довший і більш стійкий до високих температур, ніж покриття SiC.Після тривалого часу лабораторних вимірювань наш TaC може працювати протягом тривалого часу при максимальній температурі 2300 градусів за Цельсієм.Нижче наведено деякі з наших зразків:
(a) Принципова діаграма пристрою для вирощування монокристалічного злитка SiC методом PVT (b) Верхня затравкова скоба з покриттям TaC (включаючи затравку SiC) (c) Напрямне кільце з графіту з покриттям TAC
