Носії покриття SiC для травлення напівпровідників

Короткий опис:

Semicera Semiconductor Technology Co., Ltd. є провідним постачальником передової напівпровідникової кераміки. Наша основна продукція включає: гравіровані диски з карбіду кремнію, причепи для човнів з карбіду кремнію, кораблі з пластинами з карбіду кремнію (PV & Semiconductor), труби для печей з карбіду кремнію, консольні лопаті з карбіду кремнію, патрони з карбіду кремнію, балки з карбіду кремнію, а також CVD покриття SiC і Покриття TaC.

Продукція в основному використовується в напівпровідниковій і фотоелектричній промисловості, наприклад, для вирощування кристалів, епітаксії, травлення, пакування, покриття та обладнання для дифузійних печей.

 

 


Деталі продукту

Теги товарів

опис

Наша компанія надає послуги з нанесення покриття SiC методом CVD на поверхню графіту, кераміки та інших матеріалів, завдяки чому спеціальні гази, що містять вуглець і кремній, реагують при високій температурі для отримання високочистих молекул SiC, молекул, що осаджуються на поверхні покритих матеріалів, формування SIC захисного шару.

Основні характеристики

1. Стійкість до високотемпературного окислення:
Стійкість до окислення все ще дуже висока, коли температура досягає 1600 C.
2. Висока чистота: зроблено шляхом хімічного осадження з парової фази в умовах високотемпературного хлорування.
3. Стійкість до ерозії: висока твердість, компактна поверхня, дрібні частинки.
4. Стійкість до корозії: кислоти, луги, солі та органічні реагенти.

Основні характеристики покриття CVD-SIC

Властивості SiC-CVD

Кристалічна структура FCC β фаза
Щільність г/см³ 3.21
Твердість Твердість за Віккерсом 2500
Розмір зерна мкм 2~10
Хімічна чистота % 99,99995
Теплоємність Дж·кг-1 ·К-1 640
Температура сублімації 2700
Згинальна сила МПа (RT 4 точки) 415
Модуль Юнга Gpa (вигин 4 точки, 1300 ℃) 430
Теплове розширення (CTE) 10-6К-1 4.5
Теплопровідність (Вт/мК) 300
Місце роботи Semicera
Робоче місце Semicera 2
Обладнання машина
Обробка CNN, хімічне очищення, покриття CVD
Наш сервіс

  • Попередній:
  • далі: