Semicera з гордістю представляєGa2O3Підкладка, передовий матеріал, який готовий зробити революцію в силовій електроніці та оптоелектроніці.Оксид галію (Ga2O3) підкладкивідомі своєю надширокою забороненою смугою, що робить їх ідеальними для потужних і високочастотних пристроїв.
Ключові характеристики:
• Надширока ширина забороненої зони: Ga2O3 пропонує ширину забороненої зони приблизно 4,8 еВ, що значно покращує його здатність витримувати високі напруги та температури порівняно з традиційними матеріалами, такими як кремній і GaN.
• Висока напруга пробою: з винятковим полем пробою,Ga2O3Підкладкаідеально підходить для пристроїв, що вимагають роботи під високою напругою, забезпечуючи більшу ефективність і надійність.
• Термічна стабільність: чудова термічна стабільність матеріалу робить його придатним для застосування в екстремальних умовах, зберігаючи продуктивність навіть у важких умовах.
• Різноманітність застосувань: ідеально підходить для використання у високоефективних силових транзисторах, ультрафіолетових оптоелектронних пристроях тощо, забезпечуючи міцну основу для передових електронних систем.
Відчуйте майбутнє напівпровідникової технології разом із SemiceraGa2O3Підкладка. Ця підкладка, розроблена для задоволення зростаючих вимог електроніки високої потужності та високої частоти, встановлює новий стандарт продуктивності та довговічності. Довіртеся Semicera, щоб надати інноваційні рішення для найскладніших завдань.
| Предмети | виробництво | дослідження | манекен |
| Параметри кристала | |||
| Політип | 4H | ||
| Помилка орієнтації поверхні | <11-20 >4±0,15° | ||
| Електричні параметри | |||
| Допант | Азот n-типу | ||
| Питомий опір | 0,015-0,025 Ом·см | ||
| Механічні параметри | |||
| Діаметр | 150,0±0,2 мм | ||
| Товщина | 350±25 мкм | ||
| Первинна плоска орієнтація | [1-100]±5° | ||
| Первинна плоска довжина | 47,5±1,5 мм | ||
| Вторинна квартира | Жодного | ||
| TTV | ≤5 мкм | ≤10 мкм | ≤15 мкм |
| LTV | ≤3 мкм (5 мм * 5 мм) | ≤5 мкм (5 мм * 5 мм) | ≤10 мкм (5 мм * 5 мм) |
| Лук | -15 мкм ~ 15 мкм | -35 мкм ~ 35 мкм | -45 мкм ~ 45 мкм |
| Деформація | ≤35 мкм | ≤45 мкм | ≤55 мкм |
| Шорсткість передньої (Si-face) (AFM) | Ra≤0,2 нм (5 мкм*5 мкм) | ||
| Структура | |||
| Щільність мікротрубки | <1 шт./см2 | <10 шт./см2 | <15 шт./см2 |
| Металеві домішки | ≤5E10атомів/см2 | NA | |
| BPD | ≤1500 еа/см2 | ≤3000 еа/см2 | NA |
| ТСД | ≤500 еа/см2 | ≤1000 еа/см2 | NA |
| Передня якість | |||
| Фронт | Si | ||
| Оздоблення поверхні | Si-face CMP | ||
| частинки | ≤60 шт./вафля (розмір ≥0,3 мкм) | NA | |
| Подряпини | ≤5ea/мм. Сукупна довжина ≤діаметра | Сукупна довжина≤2*Діаметр | NA |
| Апельсинова кірка/ямки/плями/смуги/тріщини/забруднення | Жодного | NA | |
| Сколи/відступи/зломи/шестигранні пластини | Жодного | ||
| Політипні області | Жодного | Сукупна площа≤20% | Сукупна площа≤30% |
| Переднє лазерне маркування | Жодного | ||
| Якість задньої частини | |||
| Задня обробка | C-грань CMP | ||
| Подряпини | ≤5ea/мм, сукупна довжина≤2*діаметр | NA | |
| Дефекти задньої частини (сколи/відступи на краях) | Жодного | ||
| Шорсткість спини | Ra≤0,2 нм (5 мкм*5 мкм) | ||
| Лазерне маркування спини | 1 мм (від верхнього краю) | ||
| Край | |||
| Край | Фаска | ||
| Упаковка | |||
| Упаковка | Epi-ready з вакуумною упаковкою Упаковка мультивафельної касети | ||
| *Примітки: "NA" означає відсутність запиту. Незгадані елементи можуть стосуватися SEMI-STD. | |||
