Покриття TaCглибока ультрафіолетова світлодіодна графітова основа відноситься до процесу покращення продуктивності та стабільності пристрою шляхом нанесенняПокриття TaCна основі графіту під час підготовки світлодіодного приладу глибокого ультрафіолету. Це покриття може покращити ефективність розсіювання тепла, стійкість до високих температур і стійкість до окислення пристрою, тим самим підвищуючи ефективність і надійність світлодіодного пристрою. Світлодіодні пристрої глибокого ультрафіолетового випромінювання зазвичай використовуються в деяких спеціальних сферах, таких як дезінфекція, полімеризація світлом тощо, де висуваються високі вимоги до стабільності та продуктивності пристрою. ЗастосуванняГрафіт з покриттям TaCбаза може ефективно підвищити довговічність і продуктивність пристрою, забезпечуючи важливу підтримку для розробки світлодіодної технології глибокого ультрафіолету.
Semicera надає спеціальні покриття з карбіду танталу (TaC) для різних компонентів і носіїв.Провідний процес нанесення покриттів Semicera дозволяє досягти високої чистоти, високотемпературної стабільності та високої хімічної стійкості покриттів із карбіду танталу (TaC), покращуючи якість кристалів SIC/GAN та шарів EPI (Сусцептор TaC з графітовим покриттям), а також подовження терміну служби ключових компонентів реактора. Використання покриття карбіду танталу TaC покликане вирішити проблему краю та покращити якість росту кристалів, а Semicera зробила прорив у розв’язанні технології покриття карбідом танталу (CVD), досягнувши передового міжнародного рівня.
Після багатьох років розвитку Semicera підкорила технологіюССЗ TaCспільними зусиллями науково-дослідного відділу. Дефекти легко виникнути в процесі росту пластин SiC, але після використанняTaCрізниця суттєва. Нижче наведено порівняння пластин із та без TaC, а також частин Simicera для вирощування монокристалів.
з та без TaC
Після використання TaC (справа)
Крім того, Semicera'sПродукти з покриттям TaCдемонструють довший термін служби та більшу стійкість до високих температур порівняно зSiC покриття.Лабораторні вимірювання показали, що нашПокриття TaCможе стабільно працювати при температурах до 2300 градусів Цельсія протягом тривалого часу. Нижче наведено кілька прикладів наших зразків:
