Пластина SiC — це різновид щільної кераміки з нульовою пористістю, яка виготовлена на основі SiC і спечена при 2250 ℃.Вміст SiC становить понад 99,6%, міцність на вигин понад 410 Мпа, а теплопровідність становить 140 Вт/МК. Це єдиний керамічний матеріал, стійкий до HF, H2SO4 та іншої сильної кислотної корозії.
Переваги кераміки з карбіду кремнію:
1, коефіцієнт теплового розширення невеликий, дуже близький до кремнію;
2, відмінна зносостійкість, твердість поступається лише алмазу;
3, відмінна теплопровідність, стійкість до високих температур і швидке розсіювання тепла;