Обладнання для лазерного мікроструминного різання (LMJ) можна використовувати в напівпровідниковій промисловості

Короткий опис:

Лазерна мікроструменева технологія (LMJ) — це метод лазерної обробки, який поєднує лазер із водяним струменем, «тонким як волосинка», і точно направляє лазерний промінь до місця обробки через повне відбиття імпульсу в мікрострумені води таким чином. аналогічно традиційному оптичному волокну.Струмінь води безперервно охолоджує зону різання та ефективно видаляє сміття від обробки.


Деталі продукту

Теги товарів

Переваги обробки LMJ

Властиві дефекти звичайної лазерної обробки можна подолати шляхом розумного використання лазерної мікроструменевої технології (LMJ) для поширення оптичних характеристик води та повітря.Ця технологія дозволяє лазерним імпульсам, які повністю відбиваються в обробленому струмені води високої чистоти, безперешкодно досягати поверхні обробки, як у оптичному волокні.

Обладнання лазерної мікроструйної обробки-2-3
fcghjdxfrg

Основні особливості технології LMJ:

1. Лазерний промінь являє собою стовпчасту (паралельну) структуру.

2. Лазерний імпульс передається струменем води, як оптичне волокно, без будь-яких перешкод навколишнього середовища.

3. Лазерний промінь фокусується в обладнанні LMJ, і висота обробленої поверхні не змінюється протягом усього процесу обробки, тому не потрібно продовжувати фокусування зі зміною глибини обробки під час обробки.

4. Постійно очищайте поверхню.

мікроструменева лазерна різальна технологія (1)

5. На додаток до абляції матеріалу заготовки кожним лазерним імпульсом, кожну окрему одиницю часу від початку кожного імпульсу до наступного, оброблений матеріал перебуває в стані охолоджувальної води в реальному часі протягом приблизно 99% часу. , що майже усуває зону теплового впливу та шар переплаву, але зберігає високу ефективність обробки.

zsdfgafdeg

Загальна специфікація

LCSA-100

LCSA-200

Обсяг стільниці

125 х 200 х 100

460×460×300

Лінійна вісь XY

Лінійний двигун.Лінійний двигун

Лінійний двигун.Лінійний двигун

Лінійна вісь Z

100

300

Точність позиціонування мкм

+/- 5

+/- 3

Повторна точність позиціонування мкм

+/- 2

+/- 1

Прискорення Г

0,5

1

Числове керування

3-осьовий

3-осьовий

Laser

 

 

Тип лазера

DPSS Nd: YAG

DPSS Nd: YAG, імпульс

Довжина хвилі нм

532/1064

532/1064

Номінальна потужність Вт

50/100/200

200/400

Струмінь води

 

 

Діаметр сопла мкм

25-80

25-80

Тиск форсунки бар

100-600

0-600

Розмір/вага

 

 

Розміри (машина) (Ш x Д x В)

1050 x 800 x 1870

1200 x 1200 x 2000

Розміри (шафа управління) (Ш x Д x В)

700 x 2300 x 1600

700 x 2300 x 1600

Вага (комплектація) кг

1170

2500-3000

Вага (шафа керування) кг

700-750

700-750

Комплексне споживання енергії

 

 

Input

230 В змінного струму +6%/-10%, односпрямований 50/60 Гц ±1%

Змінний струм 400 В +6%/-10%, 3-фазний 50/60 Гц ±1%

Пікове значення

2,5 кВА

2,5 кВА

Jойн

Кабель живлення 10 м: P+N+E, 1,5 мм2

Кабель живлення 10 м: P+N+E, 1,5 мм2

Діапазон застосування користувачів напівпровідникової промисловості

≤4 дюйма круглий злиток

≤4 дюйми скибочки зливка

≤4 дюйма

 

≤6 дюймів круглий злиток

≤6 дюймів скибочки зливка

≤6 дюймів

Машина відповідає теоретичному значенню 8-дюймового круглого/нарізного/нарізного скибочками, і для конкретних практичних результатів необхідно оптимізувати стратегію різання

ZFVBsdF
мікроструменева лазерна різальна технологія (1)
технологія лазерного мікроструминного різання (2)

Місце роботи Semicera Робоче місце Semicera 2 Обладнання машина Обробка CNN, хімічне очищення, покриття CVD Наш сервіс


  • Попередній:
  • далі: