Solid SiC Focus Ring

Solid SiC Focus Ring від Semicera — це передовий компонент, розроблений для задоволення потреб передового виробництва напівпровідників. Виготовлений з високої чистотиКарбід кремнію (SiC), це фокусне кільце ідеально підходить для широкого спектру застосувань у напівпровідниковій промисловості, особливо вПроцеси CVD SiC, плазмове травлення таICPRIE (Inductively Coupled Plasma Reactive Ion Etching – індуктивно зв’язана плазма реактивним іонним травленням). Відомий своєю винятковою зносостійкістю, високою термічною стабільністю та чистотою, він забезпечує тривалу роботу в умовах високого стресу.

У напівпровідникувафельнийОбробка, фокусні кільця Solid SiC мають вирішальне значення для підтримки точного травлення під час застосування сухого травлення та травлення пластин. Кільце фокусування з SiC допомагає фокусувати плазму під час таких процесів, як машини для плазмового травлення, що робить його незамінним для травлення кремнієвих пластин. Твердий матеріал SiC забезпечує неперевершену стійкість до ерозії, забезпечуючи довговічність вашого обладнання та мінімізуючи час простою, що важливо для підтримки високої продуктивності у виготовленні напівпровідників.

Solid SiC Focus Ring від Semicera розроблено таким чином, щоб витримувати екстремальні температури та агресивні хімічні речовини, які зазвичай зустрічаються в напівпровідниковій промисловості. Він спеціально створений для використання у високоточних завданнях, таких якCVD покриття SiC, де чистота та довговічність є найважливішими. Завдяки відмінній стійкості до термічного удару цей продукт забезпечує постійну та стабільну роботу в найсуворіших умовах, включаючи вплив високих температур під часвафельнийпроцеси травлення.