Спеціальний лоток для напівпровідників ICP (гравлювання)

Короткий опис:

Semicera Energy Technology Co., Ltd. є провідним постачальником, що спеціалізується на витратних матеріалах для пластин і сучасних напівпровідників.Ми прагнемо надавати високоякісні, надійні та інноваційні продукти для виробництва напівпровідників,фотоелектрична промисловістьта інші суміжні галузі.

Наша лінійка продуктів включає графітові вироби з покриттям SiC/TaC і керамічні вироби, що включають різні матеріали, такі як карбід кремнію, нітрид кремнію, оксид алюмінію тощо.

Як надійний постачальник, ми розуміємо важливість витратних матеріалів у виробничому процесі, і ми прагнемо постачати продукцію, яка відповідає найвищим стандартам якості, щоб задовольнити потреби наших клієнтів.

 

Деталі продукту

Теги товарів

Опис продукту

Наша компанія надає послуги з нанесення покриття SiC методом CVD на поверхню графіту, кераміки та інших матеріалів, завдяки чому спеціальні гази, що містять вуглець і кремній, реагують при високій температурі для отримання високочистих молекул SiC, молекул, що осаджуються на поверхні покритих матеріалів, формування SIC захисного шару.

Основні риси:

1. Стійкість до високотемпературного окислення:

Стійкість до окислення все ще дуже висока, коли температура досягає 1600 C.

2. Висока чистота: зроблено шляхом хімічного осадження з парової фази в умовах високотемпературного хлорування.

3. Стійкість до ерозії: висока твердість, компактна поверхня, дрібні частинки.

4. Стійкість до корозії: кислоти, луги, солі та органічні реагенти.

3

Основні характеристики покриття CVD-SIC

Властивості SiC-CVD

Кристалічна структура

FCC β фаза

Щільність

г/см³

3.21

Твердість

Твердість за Віккерсом

2500

Розмір зерна

мкм

2~10

Хімічна чистота

%

99,99995

Теплоємність

Дж·кг-1 ·К-1

640

Температура сублімації

2700

Згинальна сила

МПа (RT 4 точки)

415

Модуль Юнга

Gpa (вигин 4 точки, 1300 ℃)

430

Теплове розширення (CTE)

10-6К-1

4.5

Теплопровідність

(Вт/мК)

300


  • Попередній:
  • далі: