Semicera'sSiC весларозроблені для мінімального теплового розширення, забезпечуючи стабільність і точність у процесах, де точність розмірів є критичною. Це робить їх ідеальними для застосувань, девафліпіддаються повторним циклам нагрівання та охолодження, оскільки вафельний човен зберігає свою структурну цілісність, забезпечуючи постійну продуктивність.
Включаючи Semicera вдифузійні лопаті з карбіду кремніюу вашу виробничу лінію підвищить надійність вашого процесу завдяки їхнім чудовим термічним і хімічним властивостям. Ці лопаті ідеально підходять для процесів дифузії, окислення та відпалу, забезпечуючи обережне й точне поводження з пластинами на кожному етапі.
В основі Semicera лежить інноваціяSiC веслодизайн. Ці лопаті створені для бездоганного встановлення в існуюче напівпровідникове обладнання, забезпечуючи підвищену ефективність керування. Легка конструкція та ергономічний дизайн не тільки покращують транспортування пластин, але й скорочують час простою, що призводить до оптимізації виробництва.
| Фізичні властивості перекристалізованого карбіду кремнію | |
| Власність | Типове значення |
| Робоча температура (°C) | 1600°C (з киснем), 1700°C (відновне середовище) |
| Вміст SiC | > 99,96% |
| Безкоштовний вміст Si | < 0,1% |
| Насипна щільність | 2,60-2,70 г/см3 |
| Видима пористість | < 16% |
| Міцність на стиск | > 600 МПа |
| Міцність на холодний вигин | 80-90 МПа (20°C) |
| Міцність на гарячий вигин | 90-100 МПа (1400°C) |
| Теплове розширення @1500°C | 4,70 10-6/°C |
| Теплопровідність @1200°C | 23 Вт/м•К |
| Модуль пружності | 240 ГПа |
| Стійкість до термічного удару | Надзвичайно добре |
