TheMOCVDМетод є одним із найстабільніших процесів, які зараз використовуються в промисловості для вирощування високоякісних монокристалічних тонких плівок, таких як однофазні епішари InGaN, III-N матеріали та напівпровідникові плівки зі структурою з кількома квантовими ямами, і він має велике значення в виробництво напівпровідникових та оптоелектронних приладів.
TheСуцептор MOCVD з покриттям SiCце спеціалізований тримач для пластин, покритий карбідом кремнію (SiC).епітаксійний зростання в процесі металоорганічного хімічного осадження з парової фази (MOCVD).
Покриття SiC має чудову хімічну стійкість і термічну стабільність, що робить його ідеальним вибором для MOCVD-суцепторів, які використовуються у складних процесах епітаксіального росту.
Ключовим компонентом процесу MOCVD є приймач, який є ключовим елементом для забезпечення однорідності та якості вироблених тонких плівок.
Що таке суцептор? Сусцептор — це спеціальний компонент, який використовується в процесі MOCVD для підтримки та нагрівання підкладки, на яку нанесено тонку плівку. Він виконує кілька функцій, зокрема поглинає електромагнітну енергію, перетворює її на тепло та рівномірно розподіляє тепло на підкладці. Такий рівномірний нагрів необхідний для вирощування рівномірних тонких плівок точної товщини та складу.
Типи сцепторів:
1. Графітові датчики: Графітові датчики часто покриваються захисним шаром, таким яккарбід кремнію (SiC), який відомий своєю високою теплопровідністю та стабільністю. TheSiC покриттязабезпечує тверду захисну поверхню, яка протистоїть корозії та деградації за високих температур.
2. Токоприймачі з карбіду кремнію (SiC): ці токоприймачі повністю виготовлені з SiC і мають відмінну термічну стабільність і зносостійкість. Токоприймачі SiC особливо підходять для високотемпературних процесів і корозійних середовищ.
Як працюють рецептори в MOCVD:
У процесі MOCVD прекурсори вводяться в реакційну камеру, де вони розкладаються та реагують, утворюючи тонку плівку на підкладці. Сусцептор відіграє життєво важливу роль, забезпечуючи рівномірний нагрів підкладки, що має вирішальне значення для досягнення незмінних властивостей плівки по всій поверхні підкладки. Матеріал і конструкція приймача ретельно відібрані відповідно до конкретних вимог процесу осадження, таких як температурний діапазон і хімічна сумісність.
Переваги використання високоякісних приймачів:
• Покращена якість плівки: забезпечуючи рівномірний розподіл тепла, токоприймач допомагає отримувати плівки постійної товщини та складу, що є критичним для продуктивності напівпровідникових пристроїв.
• Покращена ефективність процесу: високоякісні сенсори підвищують загальну ефективність процесу MOCVD шляхом зменшення ймовірності дефектів і збільшення виходу придатних для використання плівок.
• Тривалість служби та надійність: токоприймачі, виготовлені з міцних матеріалів, таких як SiC, забезпечують тривалу надійність і знижують витрати на обслуговування.
Сусцептор є невід’ємним компонентом процесу MOCVD і безпосередньо впливає на якість та ефективність осадження тонкої плівки. Для отримання додаткової інформації про доступні розміри, MOCVD-приймачі та ціни, будь ласка, не соромтеся зв’язатися з нами. Наші інженери з радістю проконсультують вас щодо відповідних матеріалів і дадуть відповідь на всі ваші запитання.
Телефон: +86-13373889683
WhatsAPP: +86-15957878134
Email: sales01@semi-cera.com
Час публікації: 12 серпня 2024 р