① Синтез сировини.
③ обробка зливків.Отриманий кристалічний злиток карбіду кремнію був орієнтований за допомогою рентгенівського монокристалічного орієнтатора, потім шліфований і прокатований, і перероблений у кристал карбіду кремнію стандартного діаметру.
④ Огранювання кристалів.За допомогою багаторядного ріжучого обладнання кристали карбіду кремнію розрізають на тонкі листи товщиною не більше 1 мм.
⑤ Шліфування стружки.Пластина шліфується до бажаної площинності та шорсткості за допомогою алмазних шліфувальних рідин різного розміру.
Полірований карбід кремнію без пошкоджень поверхні отримано механічним поліруванням і хіміко-механічним поліруванням.
⑦ Виявлення чіпа.Використовуйте оптичний мікроскоп, рентгенівський дифрактометр, атомно-силовий мікроскоп, безконтактний тестер питомого опору, тестер площинності поверхні, комплексний тестер поверхневих дефектів та інші інструменти та обладнання для визначення щільності мікротрубочок, якості кристалів, шорсткості поверхні, питомого опору, короблення, кривизни, зміна товщини, поверхнева подряпина та інші параметри пластини карбіду кремнію.Відповідно до цього визначається рівень якості мікросхеми.
⑧ Очищення стружки.Пластина інкапсулюється в коробку з чистого аркуша в надзвичайно чистій камері для формування готової до використання пластини з карбіду кремнію.
Час публікації: 24 листопада 2023 р