У галузі виробництва напівпровідників, яка швидко розвивається, точність і довговічність обладнання мають першорядне значення для досягнення високої продуктивності та якості. Одним із ключових компонентів, що забезпечує це, є шестерня колеса з покриттям SiC, розроблена для підвищення ефективності таких процесів, якСі ЕпітаксіяіSiC епітаксія. У Semicera ми спеціалізуємося на розробці передових колісних шестерень із покриттям SiC, які відповідають високим вимогам сучасного виробництва напівпровідників, пропонуючи чудову зносостійкість і термічну стабільність.
Шестерні колеса з покриттям SiC відіграють вирішальну роль в обладнанні, що використовується для епітаксійного росту, де вони забезпечують плавний рух і точний контроль підкладок. Ці шестерні, з їхпокриття з карбіду кремнію, забезпечують підвищену довговічність і стійкість до корозії, що робить їх ідеальними для середовищ із високими температурами та агресивними хімікатами. Це особливо критично під час використання процесівСусцептори MOCVD, де осадження матеріалів потребує стабільної та надійної опори.
Крім своєї функції вСі ЕпітаксіяіSiC епітаксіяШестерні колеса Semicera з покриттям SiC також життєво важливі для інших напівпровідникових застосувань. Наприклад, вони інтегруються в системи сНосії травлення PSS, необхідні для виробництва однорідних і високоякісних світлодіодних пластин. Висока точність і міцність також роблять їх придатними дляНосії травлення ICP, де потреба в точних допусках є вирішальною в процесах іонного травлення. Крім того, їх здатність протистояти швидким тепловим переходам робить їх високоефективними в носіях RTP, які використовуються при відпалі напівпровідників.
Інше важливе застосування колісних шестерень із покриттям SiC — це виготовлення світлодіодних епітаксіальних токоприймачів, де їх довговічність і термостійкість допомагають підтримувати цілісність токоприймача під час високотемпературних операцій. Це призводить до підвищення продуктивності та надійності у виробництві світлодіодних пластин.
Завдяки використанню вдосконаленого SiC-покриття Semicera Wheel Gears виробники можуть досягти покращеної продуктивності, скорочення часу простою та підвищення ефективності процесів виготовлення напівпровідників. Незалежно від того, чи йдеться про епітаксію з кремнію, епітаксії з кремнію та обробку MOCVD-суцепторами, ці шестерні забезпечують стійкість і точність, необхідні для задоволення високих вимог напівпровідникової промисловості.
Для отримання додаткової інформації відвідайте:
Офіційний сайт Semicera:https://www.semi-cera.com/
Час публікації: 24 вересня 2024 р