Напівпровідникова промисловість переживає безпрецедентне зростання, особливо в галузікарбід кремнію (SiC)силова електроніка.З багатьма масштабнимивафельнийфабрики, які будуються або розширюються, щоб задовольнити зростаючий попит на пристрої SiC в електромобілях, цей бум відкриває чудові можливості для зростання прибутку.Однак він також породжує унікальні виклики, які вимагають інноваційних рішень.
В основі зростання глобального виробництва мікросхем SiC лежить виробництво високоякісних кристалів SiC, пластин і епітаксійних шарів.тут,напівпровідниковий графітматеріали відіграють ключову роль, сприяючи росту кристалів SiC і осадженню епітаксійних шарів SiC.Теплоізоляція та інертність графіту роблять його кращим матеріалом, який широко використовується в тиглях, п’єдесталах, планетарних дисках і супутниках у системах росту та епітаксії кристалів.Тим не менш, суворі умови процесу становлять значну проблему, що призводить до швидкої деградації графітових компонентів і згодом перешкоджає виробництву високоякісних кристалів SiC та епітаксійних шарів.
Виробництво кристалів карбіду кремнію передбачає надзвичайно суворі технологічні умови, включаючи температури понад 2000°C і сильно корозійні гази.Це часто призводить до повної корозії графітових тиглів після кількох технологічних циклів, що призводить до зростання витрат виробництва.Крім того, суворі умови змінюють властивості поверхні графітових компонентів, погіршуючи повторюваність і стабільність виробничого процесу.
Для ефективної боротьби з цими викликами технологія захисного покриття стала кардинальною.Захисні покриття на основікарбід танталу (TaC)були запроваджені для вирішення проблем деградації графітових компонентів та дефіциту поставок графіту.Матеріали TaC демонструють температуру плавлення понад 3800°C і виняткову хімічну стійкість.Використання технології хімічного осадження з парової фази (CVD),Покриття TaCтовщиною до 35 міліметрів можна безшовно наносити на графітові компоненти.Цей захисний шар не тільки підвищує стабільність матеріалу, але й значно подовжує термін служби графітових компонентів, відповідно знижуючи виробничі витрати та підвищуючи ефективність експлуатації.
Semicera, провідний постачальникПокриття TaC, зіграв важливу роль у революції в напівпровідниковій промисловості.Завдяки своїй передовій технології та непохитній прихильності до якості Semicera дозволила виробникам напівпровідників подолати критичні виклики та досягти нових висот успіху.Пропонуючи покриття TaC з неперевершеною продуктивністю та надійністю, Semicera зміцнила свою позицію надійного партнера для напівпровідникових компаній у всьому світі.
На завершення, технологія захисного покриття, заснована на таких інноваціях, якПокриття TaCвід Semicera, змінює напівпровідниковий ландшафт і прокладає шлях до більш ефективного та сталого майбутнього.
Час публікації: 16 травня 2024 р