Переваги обробки LMJ
Властиві дефекти звичайної лазерної обробки можна подолати шляхом розумного використання лазерної мікроструменевої технології (LMJ) для поширення оптичних характеристик води та повітря. Ця технологія дозволяє лазерним імпульсам, які повністю відбиваються в обробленому струмені води високої чистоти, безперешкодно досягати поверхні обробки, як у оптичному волокні.
Основні особливості технології LMJ:
1. Лазерний промінь являє собою стовпчасту (паралельну) структуру.
2. Лазерний імпульс передається струменем води, як оптичне волокно, без будь-яких перешкод навколишнього середовища.
3. Лазерний промінь фокусується в обладнанні LMJ, і висота обробленої поверхні не змінюється протягом усього процесу обробки, тому не потрібно продовжувати фокусування зі зміною глибини обробки під час обробки.
4. Постійно очищайте поверхню.
5. На додаток до абляції матеріалу заготовки кожним лазерним імпульсом, кожну одиницю часу від початку кожного імпульсу до наступного, оброблений матеріал перебуває в стані охолоджувальної води в реальному часі приблизно 99% часу. , що майже усуває зону теплового впливу та шар переплаву, але зберігає високу ефективність обробки.
| Загальна специфікація | LCSA-100 | LCSA-200 |
| Обсяг стільниці | 125 х 200 х 100 | 460×460×300 |
| Лінійна вісь XY | Лінійний двигун. Лінійний двигун | Лінійний двигун. Лінійний двигун |
| Лінійна вісь Z | 100 | 300 |
| Точність позиціонування мкм | +/- 5 | +/- 3 |
| Повторна точність позиціонування мкм | +/- 2 | +/- 1 |
| Прискорення Г | 0,5 | 1 |
| Числове керування | 3-осьовий | 3-осьовий |
| Laser |
|
|
| Тип лазера | DPSS Nd: YAG | DPSS Nd: YAG, імпульс |
| Довжина хвилі нм | 532/1064 | 532/1064 |
| Номінальна потужність Вт | 50/100/200 | 200/400 |
| Струмінь води |
|
|
| Діаметр сопла мкм | 25-80 | 25-80 |
| Тиск форсунки бар | 100-600 | 0-600 |
| Розмір/вага |
|
|
| Розміри (машина) (Ш x Д x В) | 1050 x 800 x 1870 | 1200 x 1200 x 2000 |
| Розміри (шафа управління) (Ш x Д x В) | 700 x 2300 x 1600 | 700 x 2300 x 1600 |
| Вага (комплектація) кг | 1170 | 2500-3000 |
| Вага (шафа керування) кг | 700-750 | 700-750 |
| Комплексне споживання енергії |
|
|
| Input | 230 В змінного струму +6%/-10%, односпрямований 50/60 Гц ±1% | Змінний струм 400 В +6%/-10%, 3-фазний 50/60 Гц ±1% |
| Пікове значення | 2,5 кВА | 2,5 кВА |
| Jойн | Кабель живлення 10 м: P+N+E, 1,5 мм2 | Кабель живлення 10 м: P+N+E, 1,5 мм2 |
| Діапазон застосування користувачів напівпровідникової промисловості | ≤4 дюйма круглий злиток ≤4 дюйми скибочки зливка ≤4 дюйма
| ≤6 дюймів круглий злиток ≤6 дюймів скибочки зливка ≤6 дюймів Машина відповідає теоретичному значенню 8-дюймового круглого/нарізного/нарізного скибочками, і для конкретних практичних результатів необхідно оптимізувати стратегію різання |
