Semicera представляє високоякісний кастомконсольні весла з карбіду кремніюстворений для вдосконалення процесів виробництва напівпровідників. ІнноваційнийSiC веслоКонструкція забезпечує виняткову довговічність і високу термостійкість, що робить його важливим компонентом для роботи з пластинами в складних умовах високої температури.
TheЛопатка з карбіду кремніювиготовлений таким чином, щоб витримувати екстремальні термічні цикли, зберігаючи структурну цілісність, забезпечуючи надійне транспортування пластин під час критичних етапів виробництва напівпровідників. З чудовою механічною міцністю, цевафельний корабликмінімізує ризик пошкодження пластин, що забезпечує високі врожаї та постійну якість виробництва.
Одне з ключових нововведень у веслі Semicera SiC полягає в його індивідуальних варіантах дизайну. Пристосований для задоволення конкретних виробничих потреб, лопатка забезпечує гнучкість інтеграції з різними налаштуваннями обладнання, що робить її ідеальним рішенням для сучасних виробничих процесів. Легка, але міцна конструкція забезпечує легке використання та скорочує час простою, що сприяє підвищенню ефективності виробництва напівпровідників.
Крім термічних і механічних властивостей,Лопатка з карбіду кремніюзабезпечує чудову хімічну стійкість, що дозволяє надійно працювати навіть у жорстких хімічних середовищах. Це робить його особливо придатним для використання в процесах, пов’язаних з травленням, осадженням і високотемпературною обробкою, де збереження цілісності вафельної пластини має вирішальне значення для забезпечення високоякісних результатів.
Фізичні властивості перекристалізованого карбіду кремнію | |
Власність | Типове значення |
Робоча температура (°C) | 1600°C (з киснем), 1700°C (відновне середовище) |
Вміст SiC | > 99,96% |
Безкоштовний вміст Si | < 0,1% |
Насипна щільність | 2,60-2,70 г/см3 |
Видима пористість | < 16% |
Міцність на стиск | > 600 МПа |
Міцність на холодний вигин | 80-90 МПа (20°C) |
Міцність на гарячий вигин | 90-100 МПа (1400°C) |
Теплове розширення @1500°C | 4,70 10-6/°C |
Теплопровідність @1200°C | 23 Вт/м•К |
Модуль пружності | 240 ГПа |
Стійкість до термічного удару | Надзвичайно добре |