SiC покриттямЧастина графітового півмісяцяє ключовим компонентом, який використовується в процесах виробництва напівпровідників, особливо для епітаксійного обладнання SiC. Ми використовуємо нашу запатентовану технологію, щоб зробити деталь півмісяця з надзвичайно високою чистотою, гарною рівномірністю покриття та чудовим терміном служби, а також високою хімічною стійкістю та термостабільністю.
