Лоток MOCVD з антиокислювальним покриттям SiC високої чистоти

Короткий опис:

Semicera Energy Technology Co., Ltd. є провідним постачальником, що спеціалізується на витратних матеріалах для пластин і сучасних напівпровідників.Ми прагнемо надавати високоякісні, надійні та інноваційні продукти для виробництва напівпровідників,фотоелектрична промисловістьта інші суміжні галузі.

Наша лінійка продуктів включає графітові вироби з покриттям SiC/TaC і керамічні вироби, що включають різні матеріали, такі як карбід кремнію, нітрид кремнію, оксид алюмінію тощо.

Як надійний постачальник, ми розуміємо важливість витратних матеріалів у виробничому процесі, і ми прагнемо постачати продукцію, яка відповідає найвищим стандартам якості, щоб задовольнити потреби наших клієнтів.

 

Деталі продукту

Теги товарів

опис

Наша компанія надаєSiC покриттяобробляти послуги за допомогою методу CVD на поверхні графіту, кераміки та інших матеріалів, так що спеціальні гази, що містять вуглець і кремній, реагують при високій температурі з отриманням високочистих молекул SiC, молекул, що осідають на поверхні покритих матеріалів, утворюючиЗахисний шар SiC.

 

Основні характеристики

1. Стійкість до високотемпературного окислення:
Стійкість до окислення все ще дуже висока, коли температура досягає 1600 C.
2. Висока чистота: зроблено шляхом хімічного осадження з парової фази в умовах високотемпературного хлорування.
3. Стійкість до ерозії: висока твердість, компактна поверхня, дрібні частинки.
4. Стійкість до корозії: кислоти, луги, солі та органічні реагенти.

Основні характеристики покриття CVD-SIC

Властивості SiC-CVD
Кристалічна структура FCC β фаза
Щільність г/см³ 3.21
Твердість Твердість за Віккерсом 2500
Розмір зерна мкм 2~10
Хімічна чистота % 99,99995
Теплоємність Дж·кг-1 ·К-1 640
Температура сублімації 2700
Згинальна сила МПа (RT 4 точки) 415
Модуль Юнга Gpa (вигин 4 точки, 1300 ℃) 430
Теплове розширення (CTE) 10-6К-1 4.5
Теплопровідність (Вт/мК) 300
ЕПІТАКСІЙНІ ЧАСТИНИ MOCVD
диск MOCVD

Обладнання

приблизно

Місце роботи Semicera
Робоче місце Semicera 2
Обладнання машина
Обробка CNN, хімічне очищення, покриття CVD
Будинок посуду Semicera
Наш сервіс

  • Попередній:
  • далі: