6-дюймові напівізоляційні пластини HPSI SiC від Semicera розроблені відповідно до суворих вимог сучасних напівпровідникових технологій. Завдяки винятковій чистоті та консистенції ці пластини служать надійною основою для розробки високоефективних електронних компонентів.
Ці пластини HPSI SiC відомі своєю видатною теплопровідністю та електроізоляцією, які є критично важливими для оптимізації роботи силових пристроїв і високочастотних ланцюгів. Напівізоляційні властивості допомагають мінімізувати електричні перешкоди та підвищити ефективність пристрою.
Високоякісний виробничий процес, який використовує Semicera, гарантує, що кожна пластина має однакову товщину та мінімальні дефекти поверхні. Ця точність є важливою для передових застосувань, таких як радіочастотні пристрої, інвертори потужності та світлодіодні системи, де продуктивність і довговічність є ключовими факторами.
Використовуючи найсучасніші технології виробництва, Semicera пропонує вафлі, які не тільки відповідають галузевим стандартам, але й перевершують їх. 6-дюймовий розмір забезпечує гнучкість у збільшенні виробництва, обслуговуючи як дослідницькі, так і комерційні програми в секторі напівпровідників.
Вибір 6-дюймових напівізоляційних пластин HPSI SiC від Semicera означає інвестування в продукт, який забезпечує стабільну якість і продуктивність. Ці пластини є частиною зобов’язань Semicera щодо розширення можливостей напівпровідникової технології за допомогою інноваційних матеріалів і ретельної майстерності.
| Предмети | виробництво | дослідження | манекен |
| Параметри кристала | |||
| Політип | 4H | ||
| Помилка орієнтації поверхні | <11-20 >4±0,15° | ||
| Електричні параметри | |||
| Допант | Азот n-типу | ||
| Питомий опір | 0,015-0,025 Ом·см | ||
| Механічні параметри | |||
| Діаметр | 150,0±0,2 мм | ||
| Товщина | 350±25 мкм | ||
| Первинна плоска орієнтація | [1-100]±5° | ||
| Первинна плоска довжина | 47,5±1,5 мм | ||
| Вторинна квартира | Жодного | ||
| TTV | ≤5 мкм | ≤10 мкм | ≤15 мкм |
| LTV | ≤3 мкм (5 мм * 5 мм) | ≤5 мкм (5 мм * 5 мм) | ≤10 мкм (5 мм * 5 мм) |
| Лук | -15 мкм ~ 15 мкм | -35 мкм ~ 35 мкм | -45 мкм ~ 45 мкм |
| Деформація | ≤35 мкм | ≤45 мкм | ≤55 мкм |
| Шорсткість передньої (Si-face) (AFM) | Ra≤0,2 нм (5 мкм*5 мкм) | ||
| Структура | |||
| Щільність мікротрубки | <1 шт./см2 | <10 шт./см2 | <15 шт./см2 |
| Металеві домішки | ≤5E10атомів/см2 | NA | |
| BPD | ≤1500 еа/см2 | ≤3000 еа/см2 | NA |
| ТСД | ≤500 еа/см2 | ≤1000 еа/см2 | NA |
| Передня якість | |||
| Фронт | Si | ||
| Оздоблення поверхні | Si-face CMP | ||
| частинки | ≤60 шт./вафля (розмір ≥0,3 мкм) | NA | |
| Подряпини | ≤5ea/мм. Сукупна довжина ≤діаметра | Сукупна довжина≤2*Діаметр | NA |
| Апельсинова кірка/ямки/плями/смуги/тріщини/забруднення | Жодного | NA | |
| Сколи/відступи/зломи/шестигранні пластини | Жодного | ||
| Політипні області | Жодного | Сукупна площа≤20% | Сукупна площа≤30% |
| Переднє лазерне маркування | Жодного | ||
| Якість задньої частини | |||
| Задня обробка | C-грань CMP | ||
| Подряпини | ≤5ea/мм, сукупна довжина≤2*діаметр | NA | |
| Дефекти задньої частини (сколи/відступи на краях) | Жодного | ||
| Шорсткість спини | Ra≤0,2 нм (5 мкм*5 мкм) | ||
| Лазерне маркування спини | 1 мм (від верхнього краю) | ||
| Край | |||
| Край | Фаска | ||
| Упаковка | |||
| Упаковка | Epi-ready з вакуумною упаковкою Упаковка мультивафельної касети | ||
| *Примітки: "NA" означає відсутність запиту. Незгадані елементи можуть стосуватися SEMI-STD. | |||
