Рука для обробки вафельє ключовим обладнанням, яке використовується в процесі виробництва напівпровідників для обробки, перенесення та позиціонуваннявафлі. Зазвичай він складається з роботизованої руки, захвату та системи керування з можливістю точного переміщення та позиціонування.Ручки для обробки вафельшироко використовуються в різних ланках у виробництві напівпровідників, включаючи етапи процесу, такі як завантаження пластини, очищення, осадження тонкої плівки, травлення, літографія та перевірка. Його точність, надійність і можливості автоматизації є важливими для забезпечення якості, ефективності та послідовності виробничого процесу.
Основні функції плеча для обробки пластин включають:
1. Перенесення пластин: рукоятка обробки пластин здатна точно переносити пластини з одного місця в інше, наприклад, брати пластини зі стійки для зберігання та поміщати їх у пристрій обробки.
2. Позиціонування та орієнтація: рукоятка обробки пластин здатна точно позиціонувати та орієнтувати пластину, щоб забезпечити правильне вирівнювання та положення для подальших операцій обробки або вимірювання.
3. Затискання та звільнення. Руки для обробки пластин зазвичай оснащені захватами, які можуть безпечно затискати пластини та відпускати їх, коли це необхідно, щоб забезпечити безпечне переміщення та поводження з пластинами.
4. Автоматизоване керування: рукоятка обробки пластин оснащена розширеною системою керування, яка може автоматично виконувати заздалегідь визначені послідовності дій, підвищувати ефективність виробництва та зменшувати людські помилки.
Характеристики та переваги
1. Точні розміри та термічна стабільність.
2. Висока питома жорсткість і чудова теплова однорідність, тривале використання нелегко зігнути деформацію.
3. Він має гладку поверхню та гарну зносостійкість, що забезпечує безпечне поводження з мікросхемою без забруднення частинками.
4. Питомий опір карбіду кремнію 106-108 Ом, немагнітний, відповідно до вимог специфікації проти електростатичного розряду; Це може запобігти накопиченню статичної електрики на поверхні чіпа.
5. Хороша теплопровідність, низький коефіцієнт розширення.
