Semicera'sВафельна касетає критично важливим компонентом у процесі виробництва напівпровідників, призначеним для надійного утримання та транспортування делікатних напівпровідникових пластин. TheВафельна касетазабезпечує винятковий захист, гарантуючи, що кожна пластина утримується від забруднень і фізичних пошкоджень під час обробки, зберігання та транспортування.
Виготовлений із високочистих, хімічно стійких матеріалів SemiceraВафельна касетагарантує найвищий рівень чистоти та довговічності, необхідний для збереження цілісності вафель на кожному етапі виробництва. Точна конструкція цих касет дозволяє бездоганно інтегруватися з автоматизованими системами обробки, мінімізуючи ризик забруднення та механічних пошкоджень.
ДизайнВафельна касетатакож підтримує оптимальний потік повітря та контроль температури, що має вирішальне значення для процесів, які вимагають певних умов навколишнього середовища. Незалежно від того, чи використовується в чистих приміщеннях або під час термічної обробки, SemiceraВафельна касетарозроблено для задоволення суворих вимог напівпровідникової промисловості, забезпечуючи надійну та постійну продуктивність для підвищення ефективності виробництва та якості продукції.
| Предмети | виробництво | дослідження | манекен |
| Параметри кристала | |||
| Політип | 4H | ||
| Помилка орієнтації поверхні | <11-20 >4±0,15° | ||
| Електричні параметри | |||
| Допант | Азот n-типу | ||
| Питомий опір | 0,015-0,025 Ом·см | ||
| Механічні параметри | |||
| Діаметр | 150,0±0,2 мм | ||
| Товщина | 350±25 мкм | ||
| Первинна плоска орієнтація | [1-100]±5° | ||
| Первинна плоска довжина | 47,5±1,5 мм | ||
| Вторинна квартира | жодного | ||
| TTV | ≤5 мкм | ≤10 мкм | ≤15 мкм |
| LTV | ≤3 мкм (5 мм * 5 мм) | ≤5 мкм (5 мм * 5 мм) | ≤10 мкм (5 мм * 5 мм) |
| Лук | -15 мкм ~ 15 мкм | -35 мкм ~ 35 мкм | -45 мкм ~ 45 мкм |
| Деформація | ≤35 мкм | ≤45 мкм | ≤55 мкм |
| Шорсткість передньої (Si-face) (AFM) | Ra≤0,2 нм (5 мкм*5 мкм) | ||
| Структура | |||
| Щільність мікротрубки | <1 шт./см2 | <10 шт./см2 | <15 шт./см2 |
| Металеві домішки | ≤5E10атомів/см2 | NA | |
| BPD | ≤1500 еа/см2 | ≤3000 еа/см2 | NA |
| ТСД | ≤500 еа/см2 | ≤1000 еа/см2 | NA |
| Передня якість | |||
| Фронт | Si | ||
| Оздоблення поверхні | Si-face CMP | ||
| частинки | ≤60 шт./вафля (розмір ≥0,3 мкм) | NA | |
| Подряпини | ≤5ea/мм. Сукупна довжина ≤діаметра | Сукупна довжина≤2*Діаметр | NA |
| Апельсинова кірка/ямки/плями/смуги/тріщини/забруднення | жодного | NA | |
| Сколи/відступи/зломи/шестигранні пластини | жодного | ||
| Політипні області | жодного | Сукупна площа≤20% | Сукупна площа≤30% |
| Переднє лазерне маркування | жодного | ||
| Якість задньої частини | |||
| Задня обробка | C-грань CMP | ||
| Подряпини | ≤5ea/мм, сукупна довжина≤2*діаметр | NA | |
| Дефекти задньої частини (сколи/відступи на краях) | жодного | ||
| Шорсткість спини | Ra≤0,2 нм (5 мкм*5 мкм) | ||
| Лазерне маркування спини | 1 мм (від верхнього краю) | ||
| Край | |||
| Край | Фаска | ||
| Упаковка | |||
| Упаковка | Epi-ready з вакуумною упаковкою Упаковка мультивафельної касети | ||
| *Примітки: "NA" означає відсутність запиту. Незгадані елементи можуть стосуватися SEMI-STD. | |||
