Semicera представляє лідерство в галузіНосії для вафель, розроблений для забезпечення чудового захисту та безперебійного транспортування делікатних напівпровідникових пластин на різних етапах виробничого процесу. нашНосії для вафельретельно розроблені, щоб відповідати суворим вимогам сучасного виробництва напівпровідників, забезпечуючи цілісність і якість ваших пластин у будь-який час.
Ключові характеристики:
• Конструкція преміум-класу:Виготовлені з високоякісних, стійких до забруднень матеріалів, які гарантують міцність і довговічність, що робить їх ідеальними для чистих приміщень.
•Точний дизайн:Має точне вирівнювання слотів і надійні механізми утримування, щоб запобігти ковзанню та пошкодженню пластини під час обробки та транспортування.
•Універсальна сумісність:Вміщує широкий діапазон розмірів і товщини пластин, забезпечуючи гнучкість для різних напівпровідникових застосувань.
•Ергономічне керування:Легка та зручна конструкція полегшує завантаження та розвантаження, підвищує ефективність роботи та скорочує час обробки.
•Настроювані параметри:Пропонує налаштування відповідно до конкретних вимог, зокрема вибір матеріалу, налаштування розміру та маркування для оптимізації інтеграції робочого процесу.
Покращте процес виробництва напівпровідників із SemiceraНосії для вафель, ідеальне рішення для захисту ваших пластин від забруднення та механічних пошкоджень. Довіртеся нашій відданості якості та інноваціям, щоб надавати продукти, які не тільки відповідають галузевим стандартам, але й перевершують їх, забезпечуючи безперебійну та ефективну роботу.
| Предмети | виробництво | дослідження | манекен |
| Параметри кристала | |||
| Політип | 4H | ||
| Помилка орієнтації поверхні | <11-20 >4±0,15° | ||
| Електричні параметри | |||
| Допант | Азот n-типу | ||
| Питомий опір | 0,015-0,025 Ом·см | ||
| Механічні параметри | |||
| Діаметр | 150,0±0,2 мм | ||
| Товщина | 350±25 мкм | ||
| Первинна плоска орієнтація | [1-100]±5° | ||
| Первинна плоска довжина | 47,5±1,5 мм | ||
| Вторинна квартира | Жодного | ||
| TTV | ≤5 мкм | ≤10 мкм | ≤15 мкм |
| LTV | ≤3 мкм (5 мм * 5 мм) | ≤5 мкм (5 мм * 5 мм) | ≤10 мкм (5 мм * 5 мм) |
| Лук | -15 мкм ~ 15 мкм | -35 мкм ~ 35 мкм | -45 мкм ~ 45 мкм |
| Деформація | ≤35 мкм | ≤45 мкм | ≤55 мкм |
| Шорсткість передньої (Si-face) (AFM) | Ra≤0,2 нм (5 мкм*5 мкм) | ||
| Структура | |||
| Щільність мікротрубки | <1 шт./см2 | <10 шт./см2 | <15 шт./см2 |
| Металеві домішки | ≤5E10атомів/см2 | NA | |
| BPD | ≤1500 еа/см2 | ≤3000 еа/см2 | NA |
| ТСД | ≤500 еа/см2 | ≤1000 еа/см2 | NA |
| Передня якість | |||
| Фронт | Si | ||
| Оздоблення поверхні | Si-face CMP | ||
| частинки | ≤60 шт./вафля (розмір ≥0,3 мкм) | NA | |
| Подряпини | ≤5ea/мм. Сукупна довжина ≤діаметра | Сукупна довжина≤2*Діаметр | NA |
| Апельсинова кірка/ямки/плями/смуги/тріщини/забруднення | Жодного | NA | |
| Сколи/відступи/зломи/шестигранні пластини | Жодного | ||
| Політипні області | Жодного | Сукупна площа≤20% | Сукупна площа≤30% |
| Переднє лазерне маркування | Жодного | ||
| Якість задньої частини | |||
| Задня обробка | C-грань CMP | ||
| Подряпини | ≤5ea/мм, сукупна довжина≤2*діаметр | NA | |
| Дефекти задньої частини (сколи/відступи на краях) | Жодного | ||
| Шорсткість спини | Ra≤0,2 нм (5 мкм*5 мкм) | ||
| Лазерне маркування спини | 1 мм (від верхнього краю) | ||
| Край | |||
| Край | Фаска | ||
| Упаковка | |||
| Упаковка | Epi-ready з вакуумною упаковкою Упаковка мультивафельної касети | ||
| *Примітки: "NA" означає відсутність запиту. Незгадані елементи можуть стосуватися SEMI-STD. | |||
