Semicera надає спеціальні покриття з карбіду танталу (TaC) для різних компонентів і носіїв.Провідний процес нанесення покриттів Semicera дозволяє досягти високої чистоти, високотемпературної стабільності та високої хімічної стійкості покриттів із карбіду танталу (TaC), покращуючи якість кристалів SIC/GAN та шарів EPI (Сусцептор TaC з графітовим покриттям), а також подовження терміну служби ключових компонентів реактора. Використання покриття карбіду танталу TaC покликане вирішити проблему краю та покращити якість росту кристалів, а Semicera зробила прорив у розв’язанні технології покриття карбідом танталу (CVD), досягнувши передового міжнародного рівня.
Принцип роботи планетарного диска з карбіду танталу подібний до принципу планетарної передачі, у якій планетарний диск діє як проміжний рушійний елемент і реалізує передачу потужності та керування рухом шляхом зачеплення з внутрішньою та зовнішньою шестернями. Планетарний диск зазвичай має кілька зубчастих канавок, які зачіпаються з внутрішньою та зовнішньою шестернями для досягнення плавної передачі та високого крутного моменту.
з та без TaC
Після використання TaC (праворуч)
Характеристики планетарного диска з карбіду танталу такі:
1. Зносостійкість: матеріал карбіду танталу має надзвичайно високу твердість і зносостійкість, може підтримувати гарну довговічність під високим навантаженням і в умовах високошвидкісного руху, а також зменшити знос і втрати на тертя.
2. Високотемпературна стабільність: карбід танталу має чудову високотемпературну стабільність і може працювати протягом тривалого часу у високотемпературному середовищі без пошкоджень, що підходить для високотемпературних процесів і застосувань.
3. Низький коефіцієнт тертя: поверхня карбіду танталу має низький коефіцієнт тертя, що зменшує втрати енергії та виділення тепла під час передачі та покращує ефективність передачі.
4. Висока точність і стабільність: планетарні диски з карбіду танталу виготовлені з тонкою майстерністю, високою точністю та стабільністю, і можуть досягти точної передачі та контролю положення.
Крім того, Semicera'sПродукти з покриттям TaCдемонструють довший термін служби та більшу стійкість до високих температур порівняно зSiC покриття.Лабораторні вимірювання показали, що нашПокриття TaCможе стабільно працювати при температурах до 2300 градусів Цельсія протягом тривалого часу. Нижче наведено кілька прикладів наших зразків:
