Суцепторна опорна пластина з покриттям з карбіду танталуце опорна або опорна структура, яка вкрита тонким шаромкарбід танталу. Це покриття може бути сформоване на поверхні чутливого елемента за допомогою таких методів, як фізичне осадження з парової фази (PVD) або хімічне осадження з парової фази (CVD), що надає чутливому елементу чудові властивостікарбід танталу.
Semicera надає спеціальні покриття з карбіду танталу (TaC) для різних компонентів і носіїв.Провідний процес нанесення покриттів Semicera дозволяє досягти високої чистоти, високотемпературної стабільності та високої хімічної стійкості покриттів із карбіду танталу (TaC), покращуючи якість кристалів SIC/GAN та шарів EPI (Сусцептор TaC з графітовим покриттям), а також подовження терміну служби ключових компонентів реактора. Використання покриття карбіду танталу TaC покликане вирішити проблему краю та покращити якість росту кристалів, а Semicera зробила прорив у розв’язанні технології покриття карбідом танталу (CVD), досягнувши передового міжнародного рівня.
Після багатьох років розвитку Semicera підкорила технологіюССЗ TaCспільними зусиллями науково-дослідного відділу. Дефекти легко виникнути в процесі росту пластин SiC, але після використанняTaCрізниця суттєва. Нижче наведено порівняння пластин із та без TaC, а також частин Simicera для вирощування монокристалів.
Основні характеристики базових опорних пластин, покритих карбідом танталу, включають:
1. Високотемпературна стабільність: карбід танталу має чудову високотемпературну стабільність, що робить опорну пластину з покриттям придатною для опорних потреб у робочому середовищі з високою температурою.
2. Стійкість до корозії: покриття з карбіду танталу має хорошу корозійну стійкість, може протистояти хімічній корозії та окисленню та подовжує термін служби основи.
3. Висока твердість і зносостійкість: висока твердість покриття з карбіду танталу надає опорній пластині хорошу зносостійкість, що підходить для випадків, коли потрібна висока зносостійкість.
4. Хімічна стабільність: карбід танталу має високу стійкість до різноманітних хімічних речовин, завдяки чому опорна пластина з покриттям добре працює в деяких корозійних середовищах.
з та без TaC
Після використання TaC (праворуч)
Крім того, Semicera'sПродукти з покриттям TaCдемонструють довший термін служби та більшу стійкість до високих температур порівняно зSiC покриття.Лабораторні вимірювання показали, що нашПокриття TaCможе стабільно працювати при температурах до 2300 градусів Цельсія протягом тривалого часу. Нижче наведено кілька прикладів наших зразків:
