Графітовий лист з покриттям з карбіду танталуявляє собою графітовий матеріал з тонким шаромкарбід танталуна поверхні підкладки. Тонкий шар карбіду танталу зазвичай формують на поверхні графітової підкладки за допомогою таких методів, як фізичне осадження з парової фази (PVD) або хімічне осадження з парової фази (CVD). Це покриття має чудові властивості, такі як висока твердість, відмінна зносостійкість, стійкість до корозії та стійкість до високих температур.
Semicera надає спеціальні покриття з карбіду танталу (TaC) для різних компонентів і носіїв.Провідний процес нанесення покриттів Semicera дозволяє досягти високої чистоти, високотемпературної стабільності та високої хімічної стійкості покриттів із карбіду танталу (TaC), покращуючи якість кристалів SIC/GAN та шарів EPI (Сусцептор TaC з графітовим покриттям), а також подовження терміну служби ключових компонентів реактора. Використання покриття карбіду танталу TaC покликане вирішити проблему краю та покращити якість росту кристалів, а Semicera зробила прорив у розв’язанні технології покриття карбідом танталу (CVD), досягнувши передового міжнародного рівня.
Після багатьох років розвитку Semicera підкорила технологіюССЗ TaCспільними зусиллями науково-дослідного відділу. Дефекти легко виникнути в процесі росту пластин SiC, але після використанняTaCрізниця суттєва. Нижче наведено порівняння пластин із та без TaC, а також частин Simicera для вирощування монокристалів.
Основні переваги графітового листа з карбідом танталу включають:
1. Стійкість до високих температур: карбід танталу має високу температуру плавлення та відмінну високотемпературну стабільність, що робить графітовий лист із покриттям придатним для використання в середовищах з високою температурою.
2. Стійкість до корозії: покриття з карбіду танталу може протистояти ерозії багатьох хімічних корозійних речовин і продовжити термін служби матеріалу.
3. Висока твердість: висока твердість тонкого шару карбіду танталу забезпечує хорошу зносостійкість і підходить для застосувань, які вимагають високої зносостійкості.
4. Хімічна стабільність: покриття з карбіду танталу має чудову стійкість до хімічної корозії та підходить для використання в деяких корозійних середовищах.
з та без TaC
Після використання TaC (справа)
Крім того, Semicera'sПродукти з покриттям TaCдемонструють довший термін служби та більшу стійкість до високих температур порівняно зSiC покриття.Лабораторні вимірювання показали, що нашПокриття TaCможе стабільно працювати при температурах до 2300 градусів Цельсія протягом тривалого часу. Нижче наведено кілька прикладів наших зразків:
