Semicera надає спеціальні покриття з карбіду танталу (TaC) для різних компонентів і носіїв.Провідний процес нанесення покриттів Semicera дозволяє досягти високої чистоти, високотемпературної стабільності та високої хімічної стійкості покриттів із карбіду танталу (TaC), покращуючи якість кристалів SIC/GAN та шарів EPI (Сусцептор TaC з графітовим покриттям), а також подовження терміну служби ключових компонентів реактора. Використання покриття карбіду танталу TaC покликане вирішити проблему краю та покращити якість росту кристалів, а Semicera зробила прорив у розв’язанні технології покриття карбідом танталу (CVD), досягнувши передового міжнародного рівня.
Носії для пластин, покриті карбідом танталу, широко використовуються в процесах обробки та транспортування пластин у процесах виробництва напівпровідників. Вони забезпечують стабільну опору та захист для забезпечення безпеки, точності та консистенції пластин під час виробничого процесу. Покриття з карбіду танталу дозволяє продовжити термін служби носія, знизити витрати, підвищити якість і надійність напівпровідникової продукції.
Опис пластини з покриттям з карбіду танталу виглядає наступним чином:
1. Вибір матеріалу: карбід танталу є матеріалом із чудовими характеристиками, високою твердістю, високою температурою плавлення, стійкістю до корозії та чудовими механічними властивостями, тому він широко використовується у процесі виробництва напівпровідників.
2. Покриття поверхні: покриття з карбіду танталу наноситься на поверхню носія пластини за допомогою спеціального процесу покриття для формування рівномірного та щільного покриття з карбіду танталу. Таке покриття може забезпечити додатковий захист і зносостійкість, маючи при цьому хорошу теплопровідність.
3. Площинність і точність: підставка для пластин, покрита карбідом танталу, має високу площинність і точність, забезпечуючи стабільність і точність пластин під час виробничого процесу. Плоскість і обробка поверхні носія мають вирішальне значення для забезпечення якості та ефективності пластини.
4. Температурна стабільність: пластини з покриттям з карбіду танталу можуть підтримувати стабільність у високотемпературному середовищі без деформації або розпушення, забезпечуючи стабільність і постійність пластин у високотемпературних процесах.
5. Стійкість до корозії: покриття з карбіду танталу мають відмінну корозійну стійкість, можуть протистояти ерозії хімікатів і розчинників і захищати носій від рідинної та газової корозії.
з та без TaC
Після використання TaC (праворуч)
Крім того, Semicera'sПродукти з покриттям TaCдемонструють довший термін служби та більшу стійкість до високих температур порівняно зSiC покриття.Лабораторні вимірювання показали, що нашПокриття TaCможе стабільно працювати при температурах до 2300 градусів Цельсія протягом тривалого часу. Нижче наведено кілька прикладів наших зразків:
