Semicera надає спеціальні покриття з карбіду танталу (TaC) для різних компонентів і носіїв.Провідний процес нанесення покриттів Semicera дозволяє досягти високої чистоти, високотемпературної стабільності та високої хімічної стійкості покриттів із карбіду танталу (TaC), покращуючи якість кристалів SIC/GAN та шарів EPI (Сусцептор TaC з графітовим покриттям), а також подовження терміну служби ключових компонентів реактора. Використання покриття карбіду танталу TaC покликане вирішити проблему краю та покращити якість росту кристалів, а Semicera зробила прорив у розв’язанні технології покриття карбідом танталу (CVD), досягнувши передового міжнародного рівня.
З появою 8-дюймових пластин карбіду кремнію (SiC) вимоги до різних напівпровідникових процесів стали дедалі суворішими, особливо для процесів епітаксії, де температури можуть перевищувати 2000 градусів Цельсія. Традиційні чутливі матеріали, такі як графіт, покритий карбідом кремнію, схильні до сублімації при цих високих температурах, порушуючи процес епітаксії. Однак CVD карбід танталу (TaC) ефективно вирішує цю проблему, витримуючи температуру до 2300 градусів за Цельсієм і пропонуючи довший термін служби. Зв'язатися з Semicera's Покриття з карбіду танталу. Півмісяцьщоб дізнатися більше про наші передові рішення.
Після багатьох років розвитку Semicera підкорила технологіюССЗ TaCспільними зусиллями науково-дослідного відділу. Дефекти легко виникнути в процесі росту пластин SiC, але після використанняTaCрізниця суттєва. Нижче наведено порівняння пластин із та без TaC, а також частин Simicera для вирощування монокристалів.
з та без TaC
Після використання TaC (праворуч)
Крім того, Semicera'sПродукти з покриттям TaCдемонструють довший термін служби та більшу стійкість до високих температур порівняно зSiC покриття.Лабораторні вимірювання показали, що нашПокриття TaCможе стабільно працювати при температурах до 2300 градусів Цельсія протягом тривалого часу. Нижче наведено кілька прикладів наших зразків:
Сусцептор з покриттям TaC
Графіт з реактором, покритим TaC
