Токоприймач з покриттям з карбіду танталу (TaC) для епітаксійного обладнання

Короткий опис:

Графіт є чудовим високотемпературним матеріалом, але він легко окислюється при високих температурах. Навіть у вакуумних печах з інертним газом він може піддаватися повільному окисленню. Використання CVD-покриття з карбіду танталу (TaC) може ефективно захистити графітову підкладку, забезпечуючи таку ж стійкість до високих температур, що й графіт. TaC також є інертним матеріалом, тобто він не реагує з такими газами, як аргон або водень за високих температур.Запит Сусцептор з покриттям з карбіду танталу (TaC) для обладнання для епітаксії зараз!

Надішліть нам електронний лист

Деталі продукту

Теги товарів

Semicera надає спеціальні покриття з карбіду танталу (TaC) для різних компонентів і носіїв.Провідний процес нанесення покриттів Semicera дозволяє досягти високої чистоти, високотемпературної стабільності та високої хімічної стійкості покриттів із карбіду танталу (TaC), покращуючи якість кристалів SIC/GAN та шарів EPI (Сусцептор TaC з графітовим покриттям), а також подовження терміну служби ключових компонентів реактора. Використання покриття карбіду танталу TaC покликане вирішити проблему краю та покращити якість росту кристалів, а Semicera зробила прорив у розв’язанні технології покриття карбідом танталу (CVD), досягнувши передового міжнародного рівня.

Після багатьох років розвитку Semicera підкорила технологіюССЗ TaCспільними зусиллями науково-дослідного відділу. Дефекти легко виникнути в процесі росту пластин SiC, але після використанняTaCрізниця суттєва. Нижче наведено порівняння пластин із та без TaC, а також частин Simicera для вирощування монокристалів.

Високоефективне покриття з карбіду танталу_ покращує ефективність промислового виробництва та знижує витрати на технічне обслуговування Представлене зображення

Частина Tac для вирощування монокристалів

Протизношувальне покриття з карбіду танталу_ Захищає обладнання від зносу та корозії Представлене зображення

Графіт з кільцем, покритим TaC

з та без TaC

Після використання TaC (праворуч)

Крім того, Semicera'sПродукти з покриттям TaCдемонструють довший термін служби та більшу стійкість до високих температур порівняно зSiC покриття.Лабораторні вимірювання показали, що нашПокриття TaCможе стабільно працювати при температурах до 2300 градусів Цельсія протягом тривалого часу. Нижче наведено кілька прикладів наших зразків: