Графітові направляючі кільця з покриттям TaCвідносяться до осадження тонким шаромкарбід танталуна поверхні графітового направляючого кільця для підвищення його зносостійкості, стійкості до високих температур і хімічної стабільності. Це покриття зазвичай формується на поверхні графітового напрямного кільця за допомогою таких методів, як фізичне осадження з парової фази (PVD) або хімічне осадження з парової фази (CVD).
Semicera надає спеціальні покриття з карбіду танталу (TaC) для різних компонентів і носіїв.Провідний процес нанесення покриттів Semicera дозволяє досягти високої чистоти, високотемпературної стабільності та високої хімічної стійкості покриттів із карбіду танталу (TaC), покращуючи якість кристалів SIC/GAN та шарів EPI (Сусцептор TaC з графітовим покриттям), а також подовження терміну служби ключових компонентів реактора. Використання покриття карбіду танталу TaC покликане вирішити проблему краю та покращити якість росту кристалів, а Semicera зробила прорив у розв’язанні технології покриття карбідом танталу (CVD), досягнувши передового міжнародного рівня.
Після багатьох років розвитку Semicera підкорила технологіюССЗ TaCспільними зусиллями науково-дослідного відділу. Дефекти легко виникнути в процесі росту пластин SiC, але після використанняTaCрізниця суттєва. Нижче наведено порівняння пластин із та без TaC, а також частин Simicera для вирощування монокристалів.
Основні характеристики графітових направляючих кілець із покриттям TaC включають:
1. Стійкість до високих температур: покриття TaC має чудову високотемпературну стабільність і може підтримувати стабільність у середовищі з високою температурою.
2. Зносостійкість: висока твердість тонкого шару карбіду танталу надає напрямному кільцю хорошу зносостійкість і продовжує термін його служби.
3. Хімічна стабільність: покриття TaC має високу стійкість проти хімічної корозії, що робить його придатним для застосування в деяких корозійних середовищах.
4. Зменшення тертя: покриття TaC може ефективно зменшити тертя між графітовим напрямним кільцем та іншими компонентами та підвищити ефективність механічних ущільнень.
з та без TaC
Після використання TaC (справа)
Крім того, Semicera'sПродукти з покриттям TaCдемонструють довший термін служби та більшу стійкість до високих температур порівняно зSiC покриття.Лабораторні вимірювання показали, що нашПокриття TaCможе стабільно працювати при температурах до 2300 градусів Цельсія протягом тривалого часу. Нижче наведено кілька прикладів наших зразків:
