Носії для епітаксійних пластин із покриттям TaCзазвичай використовуються при підготовці високопродуктивних оптоелектронних пристроїв, силових пристроїв, датчиків та інших областях. Цеепітаксіальний пластинчастий носійвідноситься до осадженняTaCтонку плівку на підкладці під час процесу росту кристалів для формування пластини зі специфічною структурою та продуктивністю для подальшої підготовки пристрою.
Для приготування зазвичай використовується технологія хімічного осадження з парової фази (CVD).Носії для епітаксійних пластин із покриттям TaC. В результаті взаємодії металоорганічних попередників і газів-джерел вуглецю при високій температурі плівка TaC може бути нанесена на поверхню кристалічної підкладки. Ця плівка може мати чудові електричні, оптичні та механічні властивості та підходить для виготовлення різноманітних високопродуктивних пристроїв.
Semicera надає спеціальні покриття з карбіду танталу (TaC) для різних компонентів і носіїв.Провідний процес нанесення покриттів Semicera дозволяє досягти високої чистоти, високотемпературної стабільності та високої хімічної стійкості покриттів із карбіду танталу (TaC), покращуючи якість кристалів SIC/GAN та шарів EPI (Сусцептор TaC з графітовим покриттям), а також подовження терміну служби ключових компонентів реактора. Використання покриття карбіду танталу TaC покликане вирішити проблему краю та покращити якість росту кристалів, а Semicera зробила прорив у розв’язанні технології покриття карбідом танталу (CVD), досягнувши передового міжнародного рівня.
Після багатьох років розвитку Semicera підкорила технологіюССЗ TaCспільними зусиллями науково-дослідного відділу. Дефекти легко виникнути в процесі росту пластин SiC, але після використанняTaCрізниця суттєва. Нижче наведено порівняння пластин із та без TaC, а також частин Simicera для вирощування монокристалів.
з та без TaC
Після використання TaC (справа)
Крім того, Semicera'sПродукти з покриттям TaCдемонструють довший термін служби та більшу стійкість до високих температур порівняно зSiC покриття.Лабораторні вимірювання показали, що нашПокриття TaCможе стабільно працювати при температурах до 2300 градусів Цельсія протягом тривалого часу. Нижче наведено кілька прикладів наших зразків:
