Кремнієві підкладки Semicera створені відповідно до суворих вимог напівпровідникової промисловості, пропонуючи неперевершену якість і точність. Ці підкладки забезпечують надійну основу для різних застосувань, від інтегральних схем до фотоелектричних елементів, забезпечуючи оптимальну продуктивність і довговічність.
Висока чистота кремнієвих підкладок Semicera забезпечує мінімальну кількість дефектів і чудові електричні характеристики, які є критичними для виробництва високоефективних електронних компонентів. Цей рівень чистоти допомагає зменшити втрати енергії та підвищити загальну ефективність напівпровідникових пристроїв.
Semicera використовує найсучасніші технології виробництва для виготовлення кремнієвих підкладок із винятковою однорідністю та площинністю. Ця точність має важливе значення для досягнення незмінних результатів у виготовленні напівпровідників, де навіть найменша зміна може вплинути на продуктивність і продуктивність пристрою.
Кремнієві підкладки Semicera, доступні в різних розмірах і специфікаціях, задовольняють широкий спектр промислових потреб. Незалежно від того, розробляєте ви передові мікропроцесори чи сонячні панелі, ці підкладки забезпечують гнучкість і надійність, необхідні для конкретного застосування.
Semicera присвячена підтримці інновацій та ефективності в напівпровідниковій промисловості. Надаючи високоякісні кремнієві підкладки, ми дозволяємо виробникам розширювати межі технологій, постачаючи продукцію, яка відповідає мінливим вимогам ринку. Довіртеся Semicera для електронних та фотоелектричних рішень нового покоління.
| Предмети | виробництво | дослідження | манекен |
| Параметри кристала | |||
| Політип | 4H | ||
| Помилка орієнтації поверхні | <11-20 >4±0,15° | ||
| Електричні параметри | |||
| Допант | Азот n-типу | ||
| Питомий опір | 0,015-0,025 Ом·см | ||
| Механічні параметри | |||
| Діаметр | 150,0±0,2 мм | ||
| Товщина | 350±25 мкм | ||
| Первинна плоска орієнтація | [1-100]±5° | ||
| Первинна плоска довжина | 47,5±1,5 мм | ||
| Вторинна квартира | Жодного | ||
| TTV | ≤5 мкм | ≤10 мкм | ≤15 мкм |
| LTV | ≤3 мкм (5 мм * 5 мм) | ≤5 мкм (5 мм * 5 мм) | ≤10 мкм (5 мм * 5 мм) |
| Лук | -15 мкм ~ 15 мкм | -35 мкм ~ 35 мкм | -45 мкм ~ 45 мкм |
| Деформація | ≤35 мкм | ≤45 мкм | ≤55 мкм |
| Шорсткість передньої (Si-face) (AFM) | Ra≤0,2 нм (5 мкм*5 мкм) | ||
| Структура | |||
| Щільність мікротрубки | <1 шт./см2 | <10 шт./см2 | <15 шт./см2 |
| Металеві домішки | ≤5E10атомів/см2 | NA | |
| BPD | ≤1500 еа/см2 | ≤3000 еа/см2 | NA |
| ТСД | ≤500 еа/см2 | ≤1000 еа/см2 | NA |
| Передня якість | |||
| Фронт | Si | ||
| Оздоблення поверхні | Si-face CMP | ||
| частинки | ≤60 шт./вафля (розмір ≥0,3 мкм) | NA | |
| Подряпини | ≤5ea/мм. Сукупна довжина ≤діаметра | Сукупна довжина≤2*Діаметр | NA |
| Апельсинова кірка/ямки/плями/смуги/тріщини/забруднення | Жодного | NA | |
| Сколи/відступи/зломи/шестигранні пластини | Жодного | ||
| Політипні області | Жодного | Сукупна площа≤20% | Сукупна площа≤30% |
| Переднє лазерне маркування | Жодного | ||
| Якість задньої частини | |||
| Задня обробка | C-грань CMP | ||
| Подряпини | ≤5ea/мм, сукупна довжина≤2*діаметр | NA | |
| Дефекти задньої частини (сколи/відступи на краях) | Жодного | ||
| Шорсткість спини | Ra≤0,2 нм (5 мкм*5 мкм) | ||
| Лазерне маркування спини | 1 мм (від верхнього краю) | ||
| Край | |||
| Край | Фаска | ||
| Упаковка | |||
| Упаковка | Epi-ready з вакуумною упаковкою Упаковка мультивафельної касети | ||
| *Примітки: "NA" означає відсутність запиту. Незгадані елементи можуть стосуватися SEMI-STD. | |||
