Шліфувальний диск є важливим технологічним обладнанням для виробництва кремнієвих пластин для надвеликих інтегральних схем у напівпровідниковій промисловості. Зазвичай використовуваний шліфувальний диск з чавуну або вуглецевої сталі має низький термін служби та великий коефіцієнт теплового розширення. У процесі обробки кремнієвих пластин, особливо в процесі високошвидкісного шліфування або полірування, рівність і паралельність кремнієвих пластин важко забезпечити через знос і термічну деформацію шліфувального диска.
Шліфувальний диск з кераміки карбіду кремнію можна шліфувати та полірувати на високій швидкості через високу твердість і малий знос шліфувального диска, а коефіцієнт теплового розширення в основному такий самий, як у кремнієвої пластини. Особливо в останні роки розмір кремнієвої пластини стає все більшим і більшим, що висуває підвищені вимоги до якості та ефективності шліфування кремнієвої пластини.
Використання керамічного шліфувального диска з карбіду кремнію значно покращить якість та ефективність шліфування кремнієвих пластин. У той же час керамічний шліфувальний диск з карбіду кремнію також можна використовувати для шліфування та полірування площини інших матеріалів, таких як лусочки або блоки. З розвитком індустріалізації, особливо впровадженням міжнародного стандарту ISO14000, були висунуті більш високі вимоги до транспортування рідин, які не сприяють захисту навколишнього середовища.
Однією з найважливіших характеристик кераміки з карбіду кремнію є її високотемпературна міцність, тобто міцність в основному не знижується при 1600 градусах, а стійкість до окислення дуже хороша, тому її можна використовувати у високотемпературних конструкційних частинах. Наприклад, верхня плита високотемпературної печі, опора та високотемпературні експериментальні пристосування.
SemiceraEnergy Technology Co., Ltd - це професійне дослідження, розробка, виробництво та продаж керамічних виробів з карбіду кремнію.З моменту заснування в 2016 роціSemiceraЕнергія освоїла процес ізостатичного пресування, процес тисячного пресування, процес цементування та процес вакуумної екструзії. Наша компанія використовує 6 виробничих ліній для спікання кераміки з карбіду кремнію, має 8 станків з ЧПК, 6 прецизійних шліфувальних верстатів, також може надати вам спечені вироби з карбіду кремнію, а також послуги з обробки кераміки з карбіду кремнію, кераміки з оксиду алюмінію, кераміки з нітриду алюмінію, кераміки з діоксиду цирконію. .