Трубки для вирощування кристалів SiC з вдосконаленим покриттям з карбіду танталу

Короткий опис:

Покриття має високу чистоту, стійкість до високих температур і хімічну стійкість для ефективного захисту графітових поверхонь від зносу, корозії та окислення. Покриття з карбіду танталу — це високоефективна технологія покриття поверхні, яка забезпечує чудове підвищення продуктивності шляхом утворення зносостійкого та корозійно-стійкого захисного шару на поверхні матеріалу.

 


Деталі продукту

Теги товарів

Semicera Semicera надає спеціальні покриття з карбіду танталу (TaC) для різних компонентів і носіїв.Провідний процес нанесення покриттів Semicera Semicera дозволяє досягти високої чистоти, стабільності при високій температурі та високої хімічної стійкості до покриттів з карбіду танталу (TaC), покращуючи якість кристалів SIC/GAN і шарів EPI (Сусцептор TaC з графітовим покриттям), а також подовження терміну служби ключових компонентів реактора. Використання покриття з карбіду танталу TaC покликане вирішити проблему краю та покращити якість росту кристалів, а Semicera Semicera зробила прорив у розв’язанні технології покриття з карбіду танталу (CVD), досягнувши передового міжнародного рівня.

Після багатьох років розвитку Semicera підкорила технологіюССЗ TaCспільними зусиллями науково-дослідного відділу. Дефекти легко виникнути в процесі росту пластин SiC, але після використанняTaCрізниця суттєва. Нижче наведено порівняння пластин із та без TaC, а також частин Simicera для вирощування монокристалів.

微信图片_20240227150045

з та без TaC

微信图片_20240227150053

Після використання TaC (праворуч)

Крім того, Semicera'sПродукти з покриттям TaCдемонструють довший термін служби та більшу стійкість до високих температур порівняно зSiC покриття.Лабораторні вимірювання показали, що нашПокриття TaCможе стабільно працювати при температурах до 2300 градусів Цельсія протягом тривалого часу. Нижче наведено кілька прикладів наших зразків:

 
0(1)
Місце роботи Semicera
Робоче місце Semicera 2
Обладнання машина
Будинок посуду Semicera
Обробка CNN, хімічне очищення, покриття CVD
Наш сервіс

  • Попередній:
  • далі: