Semicera Semicera надає спеціальні покриття з карбіду танталу (TaC) для різних компонентів і носіїв.Провідний процес нанесення покриттів Semicera Semicera дозволяє досягти високої чистоти, стабільності при високій температурі та високої хімічної стійкості до покриттів з карбіду танталу (TaC), покращуючи якість кристалів SIC/GAN і шарів EPI (Сусцептор TaC з графітовим покриттям), а також подовження терміну служби ключових компонентів реактора.Використання покриття з карбіду танталу TaC покликане вирішити проблему краю та покращити якість росту кристалів, а Semicera Semicera зробила прорив у розв’язанні технології покриття з карбіду танталу (CVD), досягнувши передового міжнародного рівня.
Після багатьох років розвитку Semicera підкорила технологіюССЗ TaCспільними зусиллями науково-дослідного відділу.Дефекти легко виникнути в процесі росту пластин SiC, але після використанняTaCрізниця суттєва.Нижче наведено порівняння пластин із та без TaC, а також частин Simicera для вирощування монокристалів.
з та без TaC
Після використання TaC (справа)
Крім того, Semicera'sПродукти з покриттям TaCдемонструють довший термін служби та більшу стійкість до високих температур порівняно зSiC покриття.Лабораторні вимірювання показали, що нашПокриття TaCможе стабільно працювати при температурах до 2300 градусів Цельсія протягом тривалого часу.Нижче наведено кілька прикладів наших зразків:
-
Верхній півмісяць із покриттям з карбіду танталу CVD
-
Пластина з покриттям з карбіду танталу (TaC).
-
Пористий карбід танталу, матеріал гарячого поля для...
-
Графітове кільце з покриттям з карбіду танталу
-
Графітові трисегментні кільця з покриттям TaC
-
Карбід танталу TaC CVD-покриття Вафельний токоприймач