опис
Пластинчасті електроприймачі Semicera для MOCVD (металоорганічне хімічне осадження з парової фази) сконструйовано відповідно до високих вимог процесів епітаксійного осадження. Завдяки використанню високоякісного карбіду кремнію (SiC) ці токоприймачі забезпечують неперевершену довговічність і продуктивність у високотемпературних і корозійних середовищах, забезпечуючи точне й ефективне зростання напівпровідникових матеріалів.
Основні характеристики:
1. Чудові властивості матеріалуВиготовлені з високоякісного SiC, наші пластини-приймачі виявляють виняткову теплопровідність і хімічну стійкість. Ці властивості дозволяють їм витримувати екстремальні умови процесів MOCVD, включаючи високі температури та корозійні гази, забезпечуючи довговічність і надійну роботу.
2. Точність епітаксійного осадженняТочна конструкція наших пластинчастих токоприймачів SiC забезпечує рівномірний розподіл температури по поверхні пластини, сприяючи послідовному та високоякісному зростанню епітаксійного шару. Ця точність має вирішальне значення для виробництва напівпровідників з оптимальними електричними властивостями.
3. Підвищена довговічністьМіцний матеріал SiC забезпечує чудову стійкість до зношування та деградації навіть за постійного впливу суворих умов процесу. Така довговічність зменшує частоту заміни токоприймача, зводячи до мінімуму час простою та експлуатаційні витрати.
Застосування:
Пластинчасті токоприймачі Semicera для MOCVD ідеально підходять для:
• Епітаксійне вирощування напівпровідникових матеріалів
• Високотемпературні процеси MOCVD
• Виробництво GaN, AlN та інших складних напівпровідників
• Розширені програми для виробництва напівпровідників
Основні характеристики CVD-SIC покриттів:

Переваги:
•Висока точність: Забезпечує рівномірне та якісне епітаксійне зростання.
•Тривала продуктивність: Надзвичайна довговічність зменшує частоту заміни.
• Економічність: мінімізує експлуатаційні витрати за рахунок скорочення часу простою та технічного обслуговування.
•Універсальність: Можливість налаштування відповідно до вимог процесу MOCVD.






-
41 штука 4-дюймова графітова основа обладнання MOCVD ...
-
Графітові вафельні носії з покриттям з карбіду кремнію
-
SiC епітаксійний пластинчастий носій
-
Збільште врожайність і продуктивність із напівкерамикою ...
-
Високоякісний нагрівальний елемент з покриттям з карбіду кремн...
-
Графітовий інструмент з карбідом кремнію для епітаксії