Графітова пластина з покриттям SiC

Короткий опис:

Graphite Wafer Susceptor від SiC-покриття Semicera Semiconductor забезпечує чудові теплові характеристики та довговічність для обробки пластин. Покладіться на Semicera для вдосконалених електроприймачів із покриттям SiC, розроблених для підвищення ефективності та надійності в напівпровідникових додатках.


Деталі продукту

Теги товарів

опис

Пластинчасті фіксатори SiC від Semicorex для MOCVD (металоорганічного хімічного осадження з парової фази) сконструйовані відповідно до високих вимог процесів епітаксійного осадження. Завдяки використанню високоякісного карбіду кремнію (SiC) ці токоприймачі пропонують неперевершену довговічність і продуктивність у високотемпературних і корозійних середовищах, забезпечуючи точне й ефективне зростання напівпровідникових матеріалів.

Ключові характеристики:

1. Чудові властивості матеріалуВиготовлені з високоякісного SiC, наші пластини-приймачі виявляють виняткову теплопровідність і хімічну стійкість. Ці властивості дозволяють їм витримувати екстремальні умови процесів MOCVD, включаючи високі температури та корозійні гази, забезпечуючи довговічність і надійну роботу.

2. Точність епітаксійного осадженняТочна конструкція наших пластинчастих токоприймачів SiC забезпечує рівномірний розподіл температури по поверхні пластини, сприяючи послідовному та високоякісному зростанню епітаксійного шару. Ця точність має вирішальне значення для виробництва напівпровідників з оптимальними електричними властивостями.

3. Підвищена довговічністьМіцний матеріал SiC забезпечує чудову стійкість до зношування та деградації навіть за постійного впливу суворих умов процесу. Така довговічність зменшує частоту заміни токоприймача, зводячи до мінімуму час простою та експлуатаційні витрати.

Застосування:

SiC-вафельні токоприймачі Semicorex для MOCVD ідеально підходять для:

• Епітаксійне вирощування напівпровідникових матеріалів

• Високотемпературні процеси MOCVD

• Виробництво GaN, AlN та інших складних напівпровідників

• Розширені програми для виробництва напівпровідників

Основні характеристики CVD-SIC покриттів:

微信截图_20240wert729144258

Переваги:

Висока точність: Забезпечує рівномірне та якісне епітаксійне зростання.

Тривала продуктивність: Надзвичайна довговічність зменшує частоту заміни.

• Економічність: мінімізує експлуатаційні витрати за рахунок скорочення часу простою та технічного обслуговування.

Універсальність: Можливість налаштування відповідно до вимог процесу MOCVD.

Місце роботи Semicera
Робоче місце Semicera 2
Обладнання машина
Обробка CNN, хімічне очищення, покриття CVD
Будинок посуду Semicera
Наш сервіс

  • Попередній:
  • далі: