Графітовий токоприймач із покриттям з карбіду кремнію

Покриття CVD-SiC має характеристики однорідної структури, компактного матеріалу, стійкості до високих температур, стійкості до окислення, високої чистоти, стійкості до кислот і лугів та органічних реагентів, зі стабільними фізичними та хімічними властивостями.
Порівняно з графітовими матеріалами високої чистоти, графіт починає окислюватися при 400C, що спричинить втрату порошку через окислення, що призведе до забруднення навколишнього середовища периферійних пристроїв і вакуумних камер, а також збільшення домішок у середовищі високої чистоти.
Однак покриття SiC може зберігати фізичну та хімічну стабільність при 1600 градусах. Воно широко використовується в сучасній промисловості, особливо в напівпровідниковій промисловості.