Графітовий нагрівач із покриттям SiC для MOCVD K465i, епітаксіальний графітовий нагрівач для напівпровідникового обладнання

Короткий опис:

Semicera EnergyTechnology Co., Ltd.є провідним постачальником, що спеціалізується на витратних матеріалах для пластин і передових напівпровідників.Ми прагнемо надавати високоякісні, надійні та інноваційні продукти для виробництва напівпровідників,фотоелектрична промисловістьта інші суміжні галузі.

Наша лінійка продуктів включає графітові вироби з покриттям SiC/TaC і керамічні вироби, що включають різні матеріали, такі як карбід кремнію, нітрид кремнію, оксид алюмінію тощо.

Як надійний постачальник, ми розуміємо важливість витратних матеріалів у виробничому процесі, і ми прагнемо постачати продукцію, яка відповідає найвищим стандартам якості, щоб задовольнити потреби наших клієнтів.


Деталі продукту

Теги товарів

Основні характеристики графітового нагрівача:

1. Рівномірність нагрівання структури.

2. хороша електропровідність і високе електричне навантаження.

3. стійкість до корозії.

4. неокислюваність.

5. висока хімічна чистота.

6. висока механічна міцність.

Перевагою є енергоефективність, висока вартість і низькі витрати на обслуговування. Ми можемо виготовити графітовий тигель із захистом від окислення та тривалим терміном служби, графітову форму та всі частини графітового нагрівача.

Графітовий обігрівач (1)(1)

Основні параметри графітового нагрівача

Технічна специфікація

ВЕТ-М3

Насипна щільність (г/см3)

≥1,85

Зольність (PPM)

≤500

Твердість по Шору

≥45

Питомий опір (μ.Ω.m)

≤12

Міцність на вигин (МПа)

≥40

Міцність на стиск (МПа)

≥70

Макс. Розмір зерна (мкм)

≤43

Коефіцієнт теплового розширення Mm/°C

≤4,4*10-6

Місце роботи Semicera
Робоче місце Semicera 2
Обладнання машина
Обробка CNN, хімічне очищення, покриття CVD
Будинок посуду Semicera
Наш сервіс

  • Попередній:
  • далі: