Напівпровідникова касета

Короткий опис:

Напівпровідникова касета– Захищайте та транспортуйте свої пластини з точністю за допомогою напівпровідникової касети Semicera, розробленої для забезпечення оптимальної безпеки та ефективності у високотехнологічному виробничому середовищі.


Деталі продукту

Теги товарів

SemiceraпредставляєНапівпровідникова касета, важливий інструмент для безпечного та ефективного поводження з пластинами протягом усього процесу виробництва напівпровідників. Створена з високою точністю, ця касета гарантує безпечне зберігання та транспортування ваших пластин, зберігаючи їхню цілісність на кожному етапі.

Чудовий захист і довговічністьTheНапівпровідникова касетавід Semicera створено для забезпечення максимального захисту ваших пластин. Виготовлений із міцних матеріалів, стійких до забруднень, він захищає ваші пластини від потенційного пошкодження та забруднення, що робить його ідеальним вибором для чистих приміщень. Конструкція касети мінімізує утворення частинок і гарантує, що пластини залишаться недоторканими та безпечними під час обробки та транспортування.

Покращений дизайн для оптимальної продуктивностіSemicera'sНапівпровідникова касетамає ретельно розроблену конструкцію, яка забезпечує точне вирівнювання пластин, зменшуючи ризик зміщення та механічних пошкоджень. Слоти касети ідеально розподілені, щоб надійно утримувати кожну пластину, запобігаючи будь-якому руху, яке може призвести до подряпин або інших недоліків.

Універсальність і сумісністьTheНапівпровідникова касетає універсальним і сумісним з різними розмірами пластин, що робить його придатним для різних етапів виробництва напівпровідників. Незалежно від того, чи працюєте ви зі стандартними чи спеціальними розмірами пластин, ця касета адаптується до ваших потреб, забезпечуючи гнучкість у ваших виробничих процесах.

Покращене керування та ефективністьРозроблено з думкою про користувачаНапівпровідникова касета Semiceraлегкий і простий у використанні, що дозволяє швидко та ефективно завантажувати та розвантажувати. Цей ергономічний дизайн не тільки економить час, але й знижує ризик людської помилки, забезпечуючи безперебійну роботу на вашому підприємстві.

Відповідність галузевим стандартамSemicera гарантує, щоНапівпровідникова касетавідповідає найвищим промисловим стандартам якості та надійності. Кожна касета проходить суворе тестування, щоб гарантувати стабільну роботу в складних умовах виробництва напівпровідників. Ця відданість якості гарантує, що ваші пластини завжди будуть захищені, підтримуючи високі стандарти, необхідні в галузі.

Предмети

виробництво

дослідження

манекен

Параметри кристала

Політип

4H

Помилка орієнтації поверхні

<11-20 >4±0,15°

Електричні параметри

Допант

Азот n-типу

Питомий опір

0,015-0,025 Ом·см

Механічні параметри

Діаметр

150,0±0,2 мм

Товщина

350±25 мкм

Первинна плоска орієнтація

[1-100]±5°

Первинна плоска довжина

47,5±1,5 мм

Вторинна квартира

Жодного

TTV

≤5 мкм

≤10 мкм

≤15 мкм

LTV

≤3 мкм (5 мм * 5 мм)

≤5 мкм (5 мм * 5 мм)

≤10 мкм (5 мм * 5 мм)

Лук

-15 мкм ~ 15 мкм

-35 мкм ~ 35 мкм

-45 мкм ~ 45 мкм

Деформація

≤35 мкм

≤45 мкм

≤55 мкм

Шорсткість передньої (Si-face) (AFM)

Ra≤0,2 нм (5 мкм*5 мкм)

Структура

Щільність мікротрубки

<1 шт./см2

<10 шт./см2

<15 шт./см2

Металеві домішки

≤5E10атомів/см2

NA

BPD

≤1500 еа/см2

≤3000 еа/см2

NA

ТСД

≤500 еа/см2

≤1000 еа/см2

NA

Передня якість

Фронт

Si

Оздоблення поверхні

Si-face CMP

частинки

≤60 шт./вафля (розмір ≥0,3 мкм)

NA

Подряпини

≤5ea/мм. Сукупна довжина ≤діаметра

Сукупна довжина≤2*Діаметр

NA

Апельсинова кірка/ямки/плями/смуги/тріщини/забруднення

Жодного

NA

Сколи/відступи/зломи/шестигранні пластини

Жодного

Політипні області

Жодного

Сукупна площа≤20%

Сукупна площа≤30%

Переднє лазерне маркування

Жодного

Якість задньої частини

Задня обробка

C-грань CMP

Подряпини

≤5ea/мм, сукупна довжина≤2*діаметр

NA

Дефекти задньої частини (сколи/відступи на краях)

Жодного

Шорсткість спини

Ra≤0,2 нм (5 мкм*5 мкм)

Лазерне маркування спини

1 мм (від верхнього краю)

Край

Край

Фаска

Упаковка

Упаковка

Epi-ready з вакуумною упаковкою

Упаковка мультивафельної касети

*Примітки: "NA" означає відсутність запиту. Незгадані елементи можуть стосуватися SEMI-STD.

тех_1_2_розм
SiC пластини

  • Попередній:
  • далі: