Кільце RTP CVD SiC

RTP CVD SiC кільце Рекомендоване зображення

Короткий опис:

Кільця RTP CVD SiC в основному складаються з карбіду кремнію (SiC), хімічний склад і кристалічна структура якого забезпечують чудові характеристики. Карбід кремнію - це керамічний матеріал з високою температурою плавлення, високою твердістю та чудовою стійкістю до корозії. Він демонструє хорошу теплопровідність і хімічну стабільність при високих температурах, має відмінну механічну міцність і зносостійкість.

Надішліть нам електронний лист

Деталі продукту

Теги товарів

Чому кільце для травлення з карбіду кремнію?

RTPCVD SiC кільцяшироко використовуються в промислових і наукових сферах у високотемпературних і корозійних середовищах. Він відіграє важливу роль у виробництві напівпровідників, оптоелектроніці, точному машинобудуванні та хімічній промисловості. Конкретні програми включають:

1. Виробництво напівпровідників:RTP CVD SiC кільцяможе використовуватися для нагріву та охолодження напівпровідникового обладнання, забезпечуючи стабільний контроль температури та забезпечуючи точність і послідовність процесу.

2. Оптоелектроніка: завдяки чудовій теплопровідності та стійкості до високих температур, RTPCVD SiC кільцяможуть використовуватися як опорні та тепловідвідні матеріали для лазерів, оптоволоконного комунікаційного обладнання та оптичних компонентів.

3. Прецизійне обладнання: кільця RTP CVD SiC можна використовувати для точних інструментів і обладнання, що працюють у високотемпературних і корозійних середовищах, таких як високотемпературні печі, вакуумні пристрої та хімічні реактори.

4. Хімічна промисловість: завдяки стійкості до корозії та хімічній стабільності кільця RTP CVD SiC можна використовувати в контейнерах, трубах і реакторах у хімічних реакціях і каталітичних процесах.

Система Epi

Система RTP

CVD система

Продуктивність продукту:

1. Зустрічайте процес нижче 28 нм

2. Супер стійкість до корозії

3. Супер чиста продуктивність

4. Супер твердість

5. Висока щільність

6. Стійкість до високих температур

7. Зносостійкість

Застосування продукту:

Матеріали з карбіду кремнію мають характеристики високої твердості, зносостійкості, стійкості до корозії та високотемпературної стабільності. Продукти з відмінною повною ефективністю широко використовуються в процесах сухого травлення та TF/дифузії.