Впровадження вафельного носія
КАТЕГОРІЯ ТОВАРУ
▶Система пластинчастого носія для процесів PECVD і TALOX
• Графітовий човен PECVD і TALOX (M4~M12)
• Вертикальний SM-човен (M4, M6)
• Графітова деталь імплантату та душа (M4~M6)
• Лоток C/C і керамічне покриття
• Металевий RIE-лоток і керамічне покриття
• Вакуумне ущільнення: O-Ring & SQ-Ring
▶Процес передачі текстурування та мокрого травлення
• LSC H-Carrier або касета (M4~M12)
• LSC V-Carrier або касета (M4~M12)
• Носій ASC або касета (M4, M6)
• W/F Carrier & Storage Box (M4~M12)
• Серія транспортних коліс (роликів).
▶Носій для сонячних батарей і металевий носій
• TRC носій або касета (M4~M12)
• Журнал (з РЕМЕНЕМ)
ГРАФІТОВИЙ ЧОВЕН (H-тип)
19P6-216CT (WF M4~M12)
ГРАФІТОВИЙ ЧОВЕН (H-тип)
21P6-240CT WF M4~M12)
ГРАФІТОВИЙ ЧОВЕН (H-тип)
23P7-308CT (W/F M4~M12)
ГРАФІТОВИЙ ЧОВЕН (H-тип)
22P/7-294TP (W/F M4~M12)
ГРАФІТОВИЙ ЧОВЕН (H-тип)
W182-22P7-294CT (W/F M12)
W182-21P6-240CT (W/F M12)
WF КОРОБКА ТА ЗБЕРІГАННЯ (~M12)
C/C TRAY або CARRIER (M4~M10)
C/C TRAY або CARRIER (M4~M10)
ВЕРТИКАЛЬНИЙ ЧОВЕН (SM) M6
LSC-H-CARRIER (~M12)
LSC-V-CARRIER (~M12)
ASC CARRIER (~M6)
TRC CARRIER (~M12)
TRC CARRIER (~M12)
ГРАФІТОВИЙ ЧОВЕН(М12)
Система пластинчастого носія для процесу PECVD
▶ ГРАФІТОВИЙ ЧОВЕН (розроблений CT) Процес M10/M12
• ОСОБЛИВА КОНЦЕПЦІЯ ДИЗАЙНУ
▶ ГРАФІТОВИЙ ЧОВЕН (розроблений CT) Процес M4/M6
▶ ЧОВЕН Аксесуари
▶ ВЕРТИКАЛЬНИЙ ЧОВЕН-161,7мм ВАФЕЛЬ
▶ ЧОВЕН ВЕРТИКАЛЬНИЙ-166мм ВАФЕЛЬНИЙ
▶ ВЕРТИКАЛЬНИЙ ЧОВЕН-161,7 мм, 166 мм ПЛАСТИНА
Носій сонячних батарей і металевий носій TRC
ТИП: Автоматика
РОЗМІР ПЛАСТИНИ: ① 156 × 156 мм ② 156,75 × 156,75 мм
③161,7x161,7 мм ④166x166 мм
⑤ 180×180 мм ⑥ 210×210 мм
ВИКОРИСТАННЯ: носіння (касета)
ЄМНІСТЬ: 100 аркушів
КРОК: 4,76 мм/5,953 мм/6,35 мм
РОЗМІРИ: Приблизно 559 × 220 × 220 мм
Приблизно 712×260×260 мм
ПЕРЕВАГА: Атмосфера
МАТЕРІАЛ: FLAME, БІЧНА БАРКА-Алюміній (анодування)
БІЧНА ПЛАСТИНА-ПОМ (Антистатик)
Кришка нижньої планки-EPDM/PU/VITON (ASE)
TRC-METAL CARRIER (U'SER LINE)
TRC-METAL CARRIER (U'SER LINE)
TRC-METAL CARRIER (U'SER LINE)
ПЛАСТИНА ДЛЯ ДУШУ ТА ІМПЛАНТАТ, НОШІК
