Semicera надає спеціальні покриття з карбіду танталу (TaC) для різних компонентів і носіїв.Провідний процес нанесення покриттів Semicera дозволяє досягти високої чистоти, високотемпературної стабільності та високої хімічної стійкості покриттів із карбіду танталу (TaC), покращуючи якість кристалів SIC/GAN та шарів EPI (Сусцептор TaC з графітовим покриттям), а також подовження терміну служби ключових компонентів реактора.Використання покриття карбіду танталу TaC покликане вирішити проблему краю та покращити якість росту кристалів, а Semicera зробила прорив у розв’язанні технології покриття карбідом танталу (CVD), досягнувши передового міжнародного рівня.
З появою 8-дюймових пластин карбіду кремнію (SiC) вимоги до різних напівпровідникових процесів стали дедалі суворішими, особливо для процесів епітаксії, де температури можуть перевищувати 2000 градусів Цельсія.Традиційні чутливі матеріали, такі як графіт, покритий карбідом кремнію, схильні до сублімації при цих високих температурах, порушуючи процес епітаксії.Однак CVD карбід танталу (TaC) ефективно вирішує цю проблему, витримуючи температуру до 2300 градусів за Цельсієм і пропонуючи довший термін служби.Зв'язатися з Semicera's Сусцептор покриття TaCщоб дізнатися більше про наші передові рішення.
Після багатьох років розвитку Semicera підкорила технологіюССЗ TaCспільними зусиллями науково-дослідного відділу.Дефекти легко виникнути в процесі росту пластин SiC, але після використанняTaCрізниця суттєва.Нижче наведено порівняння пластин із та без TaC, а також частин Simicera для вирощування монокристалів.
![微信图片_20240227150045](http://www.semi-cera.com/uploads/acd12bbb1-300x225.png)
з та без TaC
![微信图片_20240227150053](http://www.semi-cera.com/uploads/b53a51be1-300x225.png)
Після використання TaC (справа)
Крім того, Semicera'sПродукти з покриттям TaCдемонструють довший термін служби та більшу стійкість до високих температур порівняно зSiC покриття.Лабораторні вимірювання показали, що нашПокриття TaCможе стабільно працювати при температурах до 2300 градусів Цельсія протягом тривалого часу.Нижче наведено кілька прикладів наших зразків:
![0(1)](http://www.semi-cera.com/uploads/01.png)
![Місце роботи Semicera](http://www.semi-cera.com/uploads/Semicera-Work-place2.jpg)
![Робоче місце Semicera 2](http://www.semi-cera.com/uploads/Semicera-work-place-22.jpg)
![Обладнання машина](http://www.semi-cera.com/uploads/Equipment-machine2.jpg)
![Будинок посуду Semicera](http://www.semi-cera.com/uploads/Semicera-Ware-House1.jpg)
![Обробка CNN, хімічне очищення, покриття CVD](http://www.semi-cera.com/uploads/CNN-processing-chemical-cleaning-CVD-coating2.jpg)
![Наш сервіс](http://www.semi-cera.com/uploads/Our-service3.jpg)
-
Трубки для росту кристалів SiC з вдосконаленим танталом...
-
Високоякісний і економічно вигідний карбід танталу...
-
Спеціальні деталі з покриттям з карбіду танталу CVD
-
Пластина з покриттям з карбіду танталу (TaC).
-
Спеціальні деталі з карбіду танталу TaC CVD покриття
-
Направляюче кільце з карбіду танталу CVD покриття