Процес сухого травлення зазвичай складається з чотирьох основних станів: перед травленням, часткове травлення, просто травлення та поверхове травлення. Основними характеристиками є швидкість травлення, селективність, критичний розмір, однорідність і визначення кінцевої точки. Малюнок 1 Перед травленням Малюнок 2 Часткове травлення Малюнок...
Читати далі