Процес підготовки SIC покриття

В даний час методи підготовки оSiC покриттяв основному включають метод гель-золь, метод вбудовування, метод покриття пензлем, метод плазмового розпилення, метод хімічної реакції з парів (CVR) і метод хімічного осадження з парів (CVD).

Спосіб вбудовування
Цей метод є різновидом високотемпературного твердофазного спікання, в якому в основному використовується порошок Si та порошок C як заливний порошок,графітова матрицяу порошку для вбудовування та спікається при високій температурі в інертному газі та, нарешті, отримуєSiC покриттяна поверхні графітової матриці. Цей метод є простим у процесі, і покриття та матриця добре з’єднані, але рівномірність покриття вздовж напрямку товщини погана, і легко зробити більше отворів, що призводить до поганої стійкості до окислення.

Щітковий метод покриття
Метод покриття щіткою в основному очищає рідку сировину на поверхні графітової матриці, а потім твердне сировину при певній температурі для підготовки покриття. Цей метод простий у процесі та низький за ціною, але покриття, отримане методом нанесення покриття пензлем, має слабкий зв’язок із матрицею, погану однорідність покриття, тонке покриття та низьку стійкість до окислення, і вимагає інших методів для допомоги.

Метод плазмового напилення
У методі плазмового розпилення в основному використовується плазмовий пістолет для розпилення розплавленої або напіврозплавленої сировини на поверхню графітової підкладки, а потім застигає та з’єднується для утворення покриття. Цей спосіб простий в експлуатації і дозволяє приготувати відносно щільний продуктпокриття з карбіду кремнію, алепокриття з карбіду кремніюотриманий цим методом часто занадто слабкий, щоб мати сильну стійкість до окислення, тому його зазвичай використовують для виготовлення композитних покриттів SiC для покращення якості покриття.

Гель-золь метод
Метод гель-золь в основному готує однорідний і прозорий розчин золю для покриття поверхні підкладки, висушує його в гель, а потім спікає для отримання покриття. Цей спосіб простий у роботі та має низьку вартість, але готове покриття має такі недоліки, як низька стійкість до термічного удару та легке розтріскування, і не може бути широко використане.

Метод хімічної реакції парів (CVR)
CVR в основному генерує пари SiO за допомогою порошку Si та SiO2 при високій температурі, і серія хімічних реакцій відбувається на поверхні підкладки з матеріалу C для створення покриття SiC. Покриття SiC, отримане цим методом, щільно з’єднується з підкладкою, але температура реакції висока, а вартість також висока.


Час публікації: 24 червня 2024 р