Вступ до скловуглецевого покриття напівпровідника

I. Ознайомлення зі структурою склокарбону

Характеристики:

(1) Поверхня склокарбону гладка і має склоподібну структуру;

(2) Скловуглець має високу твердість і низьке утворення пилу;

(3) Скловуглець має велике значення ID/IG і дуже низький ступінь графітизації, а його теплоізоляційні характеристики кращі;

(4) Склоподібний вуглець - це вуглець, який важко піддається графітизації, має гарну стійкість до високих температур і міцну стабільність при високих температурах;

(5) Склоподібний вуглець має невелику площу реакційної поверхні та чудову стійкість до хімічної корозії, а також більш стійкий до ерозії киснем, кремнієм тощо.

II. Знайомство зі скловуглецевим покриттям

Поверхневі пори лускатого графітового покриття розподілені і структура пухка, а структура скловуглецевого покриття щільна і не осипається!

1. Антиокислювальні властивості скловуглецевого покриття

(1)Ламінований твердий фетр
Склокарбонове покриття ефективно покращує антиокислювальні властивості твердого повсті;

(2)Коротковолокнистий твердий фетр
Повний повсть має високу пористість і забезпечує кисневі канали; покриття з лускатого графіту має пухку структуру, менше кисневих каналів і покращені антиокислювальні властивості; склокарбонове покриття має щільну структуру, менше кисневих каналів і найкращі антиокислювальні властивості.

2. Високотемпературна стійкість скловуглецевого покриття до абляції
Пориста структура простого фетру може послаблювати тепло (конвекційне розсіювання тепла); графітовий папір під час абляції схильний до утворення пухирів; глибина абляції скловуглецевого покриття є найменшою, а його стійкість до абляції найсильнішою; склокарбонове покриття має хороші теплоізоляційні показники.

3. Анти-Si ерозійні характеристики скловуглецевого покриття
Коротковолокнистий твердий повсть розмивається та подрібнюється Si; покриття з лускатого графіту має стійкість до ерозії кремнію в короткостроковій перспективі; склокарбонове покриття має найкращі антиерозійні характеристики.

Основною причиною ерозії кремнію є те, що газифікація кремнію безпосередньо роз’їдає поверхню твердого фетру, що призводить до порошкоподібного утворення; тоді як вуглецева структура покриття зі склокарбону є більш стабільною та має кращі антиерозійні характеристики.

Резюме

Система покриття зі склокарбону використовується не лише на теплоізоляційних матеріалах, але також очікується, що вона буде використовуватися безпосередньо на поверхні графітових деталей таC/C частини, що ефективно покращує комплексні характеристики обслуговування матеріалу.