Усі тонкі плівки, які використовуються у виробництві напівпровідників, мають опір, а опір плівок безпосередньо впливає на продуктивність пристрою. Зазвичай ми не вимірюємо абсолютний опір плівки, а використовуємо опір листа, щоб охарактеризувати його.
Що таке опір пластини та питомий об’ємний опір?
Питомий об’ємний опір, також відомий як питомий об’ємний опір, — це невід’ємна властивість матеріалу, яка характеризує, наскільки матеріал перешкоджає проходженню електричного струму. Зазвичай використовуваний символ ρ означає одиницю вимірювання Ω.
Листовий опір, також відомий як листовий опір, англійська назва sheet resistance означає значення опору плівки на одиницю площі. Зазвичай використовувані символи Rs або ρs для вираження одиниці вимірювання Ω/кв або Ω/□
Співвідношення між ними таке: опір листа = питомий об’ємний опір/товщина плівки, тобто Rs =ρ/t
Навіщо вимірювати опір листа?
Вимірювання абсолютного опору плівки вимагає точного знання геометричних розмірів плівки (довжини, ширини, товщини), які мають багато змінних і дуже складні для дуже тонких плівок або плівок неправильної форми. Стійкість листа залежить лише від товщини плівки, і її можна швидко та безпосередньо перевірити без складних розрахунків розміру.
Для яких плівок необхідно вимірювати листовий опір?
Як правило, для провідних плівок і напівпровідникових плівок потрібно вимірювати квадратний опір, тоді як для ізоляційних плівок вимірювати не потрібно.
У легуванні напівпровідників також вимірюється опір шару кремнію.
Як виміряти квадратний опір?
Метод чотирьох зондів зазвичай використовується в промисловості. Метод із чотирма зондами може вимірювати прямокутний опір у діапазоні від 1E-3 до 1E+9Ω/кв. Метод чотирьох зондів дозволяє уникнути помилок вимірювання через контактний опір між зондом і зразком.
Методи вимірювання:
1) Встановіть чотири лінійно розташовані зонди на поверхні зразка.
2) Подайте постійний струм між двома зовнішніми зондами.
3) Визначте опір, вимірявши різницю потенціалів між двома внутрішніми зондами
RS: опір листу
ΔV: зміна напруги, виміряна між внутрішніми датчиками
I : Струм, який подається між зовнішніми зондами
Час публікації: 29 березня 2024 р