Застосування кераміки з карбіду кремнію в галузі напівпровідників

Напівпровідники:

Напівпровідникова промисловість дотримується промислового закону «одне покоління технології, одне покоління процесу та одне покоління обладнання», а модернізація та ітерація напівпровідникового обладнання значною мірою залежить від технологічного прориву точних деталей. Серед них прецизійні керамічні деталі є найбільш репрезентативними матеріалами для прецизійних напівпровідникових деталей, які мають важливе застосування в ряді основних ланок виробництва напівпровідників, таких як хімічне осадження з парової фази, фізичне осадження з парової фази, іонна імплантація та травлення. Такі як підшипники, напрямні рейки, накладки, електростатичні патрони, механічні маніпулятори тощо. Особливо всередині порожнини обладнання він відіграє роль опори, захисту та відведення.

640

Починаючи з 2023 року, Нідерланди та Японія також послідовно видавали нові правила або укази про зовнішню торгівлю щодо контролю, додаючи правила експортних ліцензій для напівпровідникового обладнання, включаючи літографічні машини, і поступово виникла тенденція антиглобалізації напівпровідників. Важливість незалежного контролю ланцюга поставок стає все більш помітною. Зіткнувшись із попитом на локалізацію деталей напівпровідникового обладнання, вітчизняні компанії активно сприяють розвитку промисловості. Компанія Zhongci Electronics реалізувала локалізацію високотехнологічних точних деталей, таких як нагрівальні пластини та електростатичні патрони, вирішуючи проблему «вузьких місць» вітчизняної промисловості напівпровідникового обладнання; Dezhi New Materials, провідний вітчизняний постачальник графітових основ із покриттям із SiC та кілець для травлення з SiC, успішно завершив фінансування у розмірі 100 мільйонів юанів тощо…..
Високопровідні керамічні підкладки з нітриду кремнію:

Керамічні підкладки з нітриду кремнію в основному використовуються в блоках живлення, напівпровідникових пристроях і інверторах чисто електричних транспортних засобів (EV) і гібридних електричних транспортних засобів (HEV) і мають величезний ринковий потенціал і перспективи застосування.

640 (1)

В даний час керамічні підкладки з високою теплопровідністю нітриду кремнію для комерційного застосування вимагають теплопровідності ≥85 Вт/(м·К), міцності на вигин ≥650 МПа та в’язкості руйнування 5~7 МПа·м1/2. Компанії, які справді мають можливість масово виробляти керамічні підкладки з нітриду кремнію з високою теплопровідністю, це переважно Toshiba Group, Hitachi Metals, Japan Electric Chemical, Japan Maruwa та Japan Fine Ceramics.

Вітчизняні дослідження матеріалів керамічної підкладки з нітриду кремнію також досягли певного прогресу. Теплопровідність керамічної підкладки з нітриду кремнію, виготовленої за допомогою процесу стрічкового лиття Пекінського відділення Sinoma High-Tech Nitride Ceramics Co., Ltd., становить 100 Вт/(м·К); Beijing Sinoma Artificial Crystal Research Institute Co., Ltd. успішно підготував керамічну підкладку з нітриду кремнію з міцністю на вигин 700-800 МПа, в’язкістю до руйнування ≥8 МПа·м1/2 і теплопровідністю ≥80 Вт/(м·К) шляхом оптимізації методу та процесу спікання.


Час публікації: 29 жовтня 2024 р