Ізостатичний графітовий човен PECVD

Короткий опис:

Ізостатичний графітовий човен PECVD широко використовується в різних ланках виробництва напівпровідників, таких як осадження полікремнієвої плівки, осадження оксидної плівки, осадження нітридної плівки тощо. Його відмінні характеристики роблять його ідеальним носієм пластин у процесі PECVD.

Надішліть нам електронний лист

Деталі продукту

Теги товарів

Ізостатичний графітовий човен PECVD SEMICERA — це високочистий графітовий продукт високої щільності, призначений для підтримки пластин у процесі PECVD (плазмове хімічне осадження з парової фази). SEMICERA використовує передову технологію ізостатичного пресування, щоб гарантувати, що графітовий човен має чудову стійкість до високих температур, стійкість до корозії, стабільність розмірів і хорошу теплопровідність, що є незамінним витратним матеріалом у процесі виробництва напівпровідників.

Ізостатичний графітовий човен PECVD SEMICERA має такі переваги:

▪ Висока чистота: графітовий матеріал має високу чистоту та низький вміст домішок, щоб уникнути забруднення поверхні пластини.

▪ Висока щільність: висока щільність, висока механічна міцність, може витримувати високу температуру та високий вакуум.

▪ Хороша стабільність розмірів: невелика зміна розмірів при високій температурі для забезпечення стабільності процесу.

▪ Чудова теплопровідність: ефективно передає тепло, щоб запобігти перегріву пластин.

▪ Сильна корозійна стійкість: здатна протистояти ерозії різними корозійними газами та плазмою.

Параметр продуктивності	semicera	SGL R6510	Параметр продуктивності
Насипна щільність (г/см3)	1.91	1.83	1,85
Міцність на вигин (МПа)	63	60	49
Міцність на стиск (МПа)	135	130	103
Твердість по Шору (HS)	70	64	60
Коефіцієнт теплового розширення (10-6/K)	85	105	130
Коефіцієнт теплового розширення (10-6/K)	5,85	4.2	5.0
Питомий опір (мкОм)	11-13	13	10

Переваги вибору нас:
▪ Вибір матеріалу: високочисті графітові матеріали використовуються для забезпечення якості продукції.
▪ Технологія обробки: Для забезпечення щільності та однорідності продукту використовується ізостатичне пресування.
▪ Налаштування розміру: графітові човни різних розмірів і форм можна налаштувати відповідно до потреб клієнта.
▪ Обробка поверхні: надається різноманітність методів обробки поверхні, наприклад покриття карбідом кремнію, нітридом бору тощо, щоб відповідати різним вимогам процесу.