Semicera представляє високоякісний напівпровідникконсольні весла з карбіду кремнію, призначений для задоволення суворих вимог сучасного виробництва напівпровідників.
Theвесло з карбіду кремніюмає передову конструкцію, яка мінімізує теплове розширення та деформацію, що робить його високонадійним у екстремальних умовах. Його міцна конструкція забезпечує підвищену довговічність, знижуючи ризик поломки або зносу, що є критично важливим для підтримки високої врожайності та незмінної якості виробництва. Theвафельний корабликдизайн також легко інтегрується зі стандартним обладнанням для обробки напівпровідників, забезпечуючи сумісність і простоту використання.
Одна з видатних особливостей SemiceraSiC веслоце його хімічна стійкість, яка дозволяє йому працювати виключно добре в середовищах, які піддаються впливу корозійних газів і хімікатів. Зосередження Semicera на персоналізації дозволяє створювати індивідуальні рішення.
| Фізичні властивості перекристалізованого карбіду кремнію | |
| Власність | Типове значення |
| Робоча температура (°C) | 1600°C (з киснем), 1700°C (відновне середовище) |
| Вміст SiC | > 99,96% |
| Безкоштовний вміст Si | < 0,1% |
| Насипна щільність | 2,60-2,70 г/см3 |
| Видима пористість | < 16% |
| Міцність на стиск | > 600 МПа |
| Міцність на холодний вигин | 80-90 МПа (20°C) |
| Міцність на гарячий вигин | 90-100 МПа (1400°C) |
| Теплове розширення @1500°C | 4,70 10-6/°C |
| Теплопровідність @1200°C | 23 Вт/м•К |
| Модуль пружності | 240 ГПа |
| Стійкість до термічного удару | Надзвичайно добре |
