Носій/суцептор SiC високої чистоти

Короткий опис:

Несучий диск із карбіду кремнію також відомий як лоток SIC, диск для травлення карбіду кремнію, диск для травлення ICP. Лоток з карбіду кремнію для світлодіодного травлення (SiC tray) φ600 мм є спеціальним аксесуаром для глибокого травлення кремнію (машина травлення ICP).

Надішліть нам електронний лист

Деталі продукту

Теги товарів

опис

Кераміка з карбіду кремнію має відмінні механічні властивості при кімнатній температурі, такі як висока міцність, висока твердість, високий модуль пружності тощо, вона також має чудову високотемпературну стабільність, як-от висока теплопровідність, низький коефіцієнт теплового розширення, а також хороша питома жорсткість і оптична міцність. продуктивність обробки.
Вони особливо підходять для виробництва прецизійних керамічних деталей для обладнання з інтегральними схемами, наприклад літографічних машин, які в основному використовуються для виготовлення носіїв/суцепторів із SiC, пластин із SiC, всмоктуючого диска, пластини водяного охолодження, прецизійного вимірювального рефлектора, решітки та інших керамічних структурних частин.

перевізник2

носій3

перевізник4

Переваги

Стійкість до високих температур: нормальне використання при 1800 ℃
Висока теплопровідність: еквівалент графітового матеріалу
Висока твердість: за твердістю поступається лише алмазу, нітриду бору
Стійкість до корозії: сильна кислота та луг не мають корозії, стійкість до корозії краща, ніж карбід вольфраму та глинозем
Легка вага: низька щільність, близька до алюмінію
Відсутність деформації: низький коефіцієнт теплового розширення
Стійкість до термічного удару: він витримує різкі перепади температури, протистоїть термічному удару та має стабільну роботу
Носій з карбіду кремнію, такий як носій для травлення, ICP-суцептор для травлення, широко використовується в напівпровідникових CVD, вакуумному напиленні тощо. Ми можемо надати клієнтам індивідуальні носії для пластин із кремнію та матеріалів з карбіду кремнію для різних застосувань.

Переваги

Власність	Значення	метод
Щільність	3,21 г/куб.куб	Мийка-поплавок і габарит
Питома теплоємність	0,66 Дж/г °K	Імпульсний лазерний спалах
Міцність на вигин	450 МПа560 МПа	4-точкове згинання, RT4-точкове згинання, 1300°
В'язкість до руйнування	2,94 МПа м1/2	Мікровідступ
Твердість	2800	Vicker's, навантаження 500г
Модуль пружності Модуль Юнга	450 ГПа 430 ГПа	Вигин 4 точки, вигин RT4 точки, 1300 °C
Розмір зерен	2 – 10 мкм	SEM

Профіль компанії

WeiTai Energy Technology Co., Ltd. є провідним постачальником передової напівпровідникової кераміки та єдиним виробником у Китаї, який може одночасно надавати карбідокремнієву кераміку високої чистоти (особливо рекристалізований SiC) і CVD SiC покриття. Крім того, наша компанія також займається керамічними галузями, такими як глинозем, нітрид алюмінію, цирконій, нітрид кремнію тощо.

Наша основна продукція, включаючи: диск для травлення з карбіду кремнію, буксир для човна з карбіду кремнію, пластинчастий човен з карбіду кремнію (фотоелектричні та напівпровідникові), трубу для печі з карбіду кремнію, консольну пластину з карбіду кремнію, патрони з карбіду кремнію, балку з карбіду кремнію, а також CVD покриття SiC і TaC покриття. Продукти, які в основному використовуються в напівпровідниковій і фотоелектричній промисловості, такі як обладнання для вирощування кристалів, епітаксія, травлення, пакування, покриття та дифузійні печі тощо.
про (2)