Графітова пластина з графітовим покриттям високої чистоти

Короткий опис:

High Purity SiC Carrier Susceptor від Semicera розроблений для передових процесів виробництва напівпровідників і світлодіодів, пропонуючи виняткову термічну стабільність і відмінну продуктивність при високих температурах. Виготовлений із карбіду кремнію високої чистоти, цей токоприймач забезпечує ефективний розподіл тепла, покращену рівномірність процесу та підвищену довговічність. Ідеальний для MOCVD, CVD та інших високотемпературних застосувань, SiC-суцептор Semicera забезпечує надійну та тривалу роботу, допомагаючи оптимізувати ефективність виробництва та якість продукції.

Надішліть нам електронний лист

Деталі продукту

Теги товарів

опис

Кераміка з карбіду кремнію має відмінні механічні властивості при кімнатній температурі, такі як висока міцність, висока твердість, високий модуль пружності тощо, вона також має чудову високотемпературну стабільність, як-от висока теплопровідність, низький коефіцієнт теплового розширення, а також хороша питома жорсткість і оптична міцність. продуктивність обробки.
Вони особливо підходять для виробництва прецизійних керамічних деталей для обладнання з інтегральними схемами, наприклад літографічних машин, які в основному використовуються для виготовлення носіїв/суцепторів із SiC, пластин із SiC, всмоктуючого диска, пластини водяного охолодження, прецизійного вимірювального рефлектора, решітки та інших керамічних структурних частин.

перевізник2

носій3

перевізник4

Переваги

Стійкість до високих температур: нормальне використання при 1800 ℃
Висока теплопровідність: еквівалент графітового матеріалу
Висока твердість: за твердістю поступається лише алмазу, нітриду бору
Стійкість до корозії: сильна кислота та луг не мають корозії, стійкість до корозії краща, ніж карбід вольфраму та глинозем
Легка вага: низька щільність, близька до алюмінію
Відсутність деформації: низький коефіцієнт теплового розширення
Стійкість до термічного удару: він витримує різкі перепади температури, протистоїть термічному удару та має стабільну роботу
Носій з карбіду кремнію, такий як носій для травлення, ICP-суцептор для травлення, широко використовується в напівпровідникових CVD, вакуумному напиленні тощо. Ми можемо надати клієнтам індивідуальні носії для пластин із кремнію та матеріалів з карбіду кремнію для різних застосувань.

Переваги

Власність	Значення	метод
Щільність	3,21 г/куб.куб	Мийка-поплавок і габарит
Питома теплоємність	0,66 Дж/г °K	Імпульсний лазерний спалах
Міцність на вигин	450 МПа560 МПа	4-точкове згинання, RT4-точкове згинання, 1300°
В'язкість до руйнування	2,94 МПа м1/2	Мікровідступ
Твердість	2800	Vicker's, навантаження 500г
Модуль пружності Модуль Юнга	450 ГПа 430 ГПа	Вигин 4 точки, вигин RT4 точки, 1300 °C
Розмір зерна	2 – 10 мкм	SEM

Профіль компанії

WeiTai Energy Technology Co., Ltd. є провідним постачальником передової напівпровідникової кераміки та єдиним виробником у Китаї, який може одночасно надавати карбідокремнієву кераміку високої чистоти (особливо рекристалізований SiC) і CVD SiC покриття. Крім того, наша компанія також займається керамічними галузями, такими як оксид алюмінію, нітрид алюмінію, діоксид цирконію та нітрид кремнію тощо.

Наша основна продукція, включаючи: диск для травлення з карбіду кремнію, буксир для човна з карбіду кремнію, пластинчастий човен з карбіду кремнію (фотоелектричні та напівпровідникові), трубу для печі з карбіду кремнію, консольну пластину з карбіду кремнію, патрони з карбіду кремнію, балку з карбіду кремнію, а також CVD покриття SiC і TaC покриття. Продукти, які в основному використовуються в напівпровідниковій і фотоелектричній промисловості, такі як обладнання для вирощування кристалів, епітаксія, травлення, пакування, покриття та дифузійні печі тощо.
про (2)