Епітаксія GaN

Короткий опис:

Епітаксія GaN є наріжним каменем у виробництві високоефективних напівпровідникових приладів, що забезпечує виняткову ефективність, термічну стабільність і надійність. Рішення GaN Epitaxy від Semicera створені для задоволення вимог найсучасніших застосувань, забезпечуючи чудову якість і послідовність у кожному шарі.


Деталі продукту

Теги товарів

Semiceraз гордістю представляє свою сучасністьЕпітаксія GaNпослуги, призначені для задоволення потреб напівпровідникової промисловості, що постійно розвиваються. Нітрид галію (GaN) — це матеріал, відомий своїми винятковими властивостями, і наші процеси епітаксійного росту забезпечують повну реалізацію цих переваг у ваших пристроях.

Високоефективні шари GaN Semiceraспеціалізується на виробництві високоякіснихЕпітаксія GaNшари, пропонуючи неперевершену чистоту матеріалу та структурну цілісність. Ці шари мають вирішальне значення для різноманітних додатків, від силової електроніки до оптоелектроніки, де надзвичайно важливі продуктивність і надійність. Наші методи точного вирощування гарантують, що кожен шар GaN відповідає строгим стандартам, необхідним для передових пристроїв.

Оптимізовано для ефективностіTheЕпітаксія GaNнаданий Semicera, спеціально розроблений для підвищення ефективності ваших електронних компонентів. Доставляючи шари GaN з низьким рівнем дефектів і високої чистоти, ми дозволяємо пристроям працювати на вищих частотах і напругах зі зниженими втратами потужності. Ця оптимізація є ключовою для таких застосувань, як транзистори з високою рухливістю електронів (HEMT) і світлодіоди (LED), де ефективність має першочергове значення.

Універсальний потенціал застосування Semicera'sЕпітаксія GaNє універсальним, обслуговуючи широкий спектр галузей і застосувань. Незалежно від того, розробляєте ви підсилювачі потужності, радіочастотні компоненти чи лазерні діоди, наші епітаксійні шари GaN забезпечують основу, необхідну для високопродуктивних надійних пристроїв. Наш процес може бути налаштований відповідно до конкретних вимог, гарантуючи, що ваша продукція досягне оптимальних результатів.

Відданість якостіЯкість є наріжним каменемSemiceraпідхід доЕпітаксія GaN. Ми використовуємо передові технології епітаксійного росту та суворі заходи контролю якості для виготовлення шарів GaN, які демонструють чудову однорідність, низьку щільність дефектів і чудові властивості матеріалу. Це зобов’язання щодо якості гарантує, що ваші пристрої не тільки відповідають галузевим стандартам, але й перевищують їх.

Інноваційні методи зростання Semiceraзнаходиться в авангарді інновацій у сферіЕпітаксія GaN. Наша команда постійно досліджує нові методи та технології для покращення процесу росту, забезпечуючи шари GaN з покращеними електричними та тепловими характеристиками. Ці інновації перетворюються на пристрої з кращою продуктивністю, здатні задовольняти вимоги додатків нового покоління.

Індивідуальні рішення для ваших проектівВизнаючи, що кожен проект має унікальні вимоги,Semiceraпропозиції індивідуальніЕпітаксія GaNрішення. Незалежно від того, чи потрібні вам спеціальні допінг-профілі, товщина шару або обробка поверхні, ми тісно співпрацюємо з вами, щоб розробити процес, який точно відповідає вашим потребам. Наша мета — надати вам шари GaN, які точно розроблені для підтримки продуктивності та надійності вашого пристрою.

Предмети

виробництво

дослідження

манекен

Параметри кристала

Політип

4H

Помилка орієнтації поверхні

<11-20 >4±0,15°

Електричні параметри

Допант

Азот n-типу

Питомий опір

0,015-0,025 Ом·см

Механічні параметри

Діаметр

150,0±0,2 мм

Товщина

350±25 мкм

Первинна плоска орієнтація

[1-100]±5°

Первинна плоска довжина

47,5±1,5 мм

Вторинна квартира

жодного

TTV

≤5 мкм

≤10 мкм

≤15 мкм

LTV

≤3 мкм (5 мм * 5 мм)

≤5 мкм (5 мм * 5 мм)

≤10 мкм (5 мм * 5 мм)

Лук

-15 мкм ~ 15 мкм

-35 мкм ~ 35 мкм

-45 мкм ~ 45 мкм

Деформація

≤35 мкм

≤45 мкм

≤55 мкм

Шорсткість передньої (Si-face) (AFM)

Ra≤0,2 нм (5 мкм*5 мкм)

Структура

Щільність мікротрубки

<1 шт./см2

<10 шт./см2

<15 шт./см2

Металеві домішки

≤5E10атомів/см2

NA

BPD

≤1500 еа/см2

≤3000 еа/см2

NA

ТСД

≤500 еа/см2

≤1000 еа/см2

NA

Передня якість

Фронт

Si

Оздоблення поверхні

Si-face CMP

частинки

≤60 шт./вафля (розмір ≥0,3 мкм)

NA

Подряпини

≤5ea/мм. Сукупна довжина ≤діаметра

Сукупна довжина≤2*Діаметр

NA

Апельсинова кірка/ямки/плями/смуги/тріщини/забруднення

жодного

NA

Сколи/відступи/зломи/шестигранні пластини

жодного

Політипні області

жодного

Сукупна площа≤20%

Сукупна площа≤30%

Переднє лазерне маркування

жодного

Якість задньої частини

Задня обробка

C-грань CMP

Подряпини

≤5ea/мм, сукупна довжина≤2*діаметр

NA

Дефекти задньої частини (сколи/відступи на краях)

жодного

Шорсткість спини

Ra≤0,2 нм (5 мкм*5 мкм)

Лазерне маркування спини

1 мм (від верхнього краю)

Край

Край

Фаска

Упаковка

Упаковка

Epi-ready з вакуумною упаковкою

Упаковка мультивафельної касети

*Примітки: "NA" означає відсутність запиту. Незгадані елементи можуть стосуватися SEMI-STD.

тех_1_2_розм
SiC пластини

  • Попередній:
  • далі: