Масове кільце CVD SiC

Об’ємне кільце CVD SiC Показане зображення

Короткий опис:

Об’ємні кільця CVD SiC використовують газ джерела кремнію (наприклад, гідрид кремнію) і газ джерела вуглецю (наприклад, метан) як сировину, реагуючи при високій температурі, щоб осадити матеріали SiC великого розміру на підкладку або форму. Цей процес дозволяє рівномірно осадити SiC на великій площі, утворюючи міцну та послідовну кільцеву структуру.

Надішліть нам електронний лист

Деталі продукту

Теги товарів

Чому кільце для травлення з карбіду кремнію?

RTPCVD SiC кільцяшироко використовуються в промислових і наукових сферах у високотемпературних і корозійних середовищах. Він відіграє важливу роль у виробництві напівпровідників, оптоелектроніці, точному машинобудуванні та хімічній промисловості. Конкретні програми включають:

1. Виробництво напівпровідників:RTP CVD SiC кільцяможе використовуватися для нагріву та охолодження напівпровідникового обладнання, забезпечуючи стабільний контроль температури та забезпечуючи точність і послідовність процесу.

2. Оптоелектроніка: завдяки чудовій теплопровідності та стійкості до високих температур, RTPCVD SiC кільцяможуть використовуватися як опорні та тепловідвідні матеріали для лазерів, оптоволоконного комунікаційного обладнання та оптичних компонентів.

3. Прецизійне обладнання: кільця RTP CVD SiC можна використовувати для точних інструментів і обладнання, що працюють у високотемпературних і корозійних середовищах, таких як високотемпературні печі, вакуумні пристрої та хімічні реактори.

4. Хімічна промисловість: завдяки стійкості до корозії та хімічній стабільності кільця RTP CVD SiC можна використовувати в контейнерах, трубах і реакторах у хімічних реакціях і каталітичних процесах.

Система Epi

Система RTP

CVD система

Продуктивність продукту:

1. Зустрічайте процес нижче 28 нм

2. Супер стійкість до корозії

3. Супер чиста продуктивність

4. Супер твердість

5. Висока щільність

6. Стійкість до високих температур

7. Зносостійкість

Застосування продукту:

Матеріали з карбіду кремнію мають характеристики високої твердості, зносостійкості, стійкості до корозії та високотемпературної стабільності. Продукти з відмінною повною ефективністю широко використовуються в процесах сухого травлення та TF/дифузії.